[发明专利]物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体

权利要求书

1.一种物理量传感器，其特征在于，具有：

第一结构体，其具有具备了可动电极指的可动部；

第二结构体，其具备以与所述可动电极指对置的方式而被配置的第一固定电极指；

第三结构体，其具备以与所述可动电极指对置的方式而被配置且与所述第一固定电极指相邻的第二固定电极指；

静电电容形成部，其具有在所述第一结构体和所述第二结构体之间形成静电电容的第一静电电容形成部、在所述第一结构体和所述第三结构体之间形成静电电容的第二静电电容形成部中的至少一方，

所述第一结构体具有所述可动部和对所述可动部进行支承的支承部，

所述支承部具有延伸部，所述延伸部从所述支承部起延伸，并且所述延伸部的顶端部与所述第一固定电极指对置，

通过使所述延伸部与所述第一固定电极指对置从而构成所述第一静电电容形成部。

2.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，

所述静电电容形成部同时具有所述第一静电电容形成部以及所述第二静电电容形成部，

所述第一静电电容形成部中的静电电容与所述第二静电电容形成部中的静电电容不同。

3.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，

所述第一结构体具有所述可动部和对所述可动部进行支承的支承部，

所述支承部具有延伸部，所述延伸部从所述支承部起延伸，并且所述延伸部的顶端部与所述第二固定电极指对置，

通过使所述延伸部与所述第二固定电极指对置从而构成所述第二静电电容形成部。

4.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，

所述第二结构体具有：多个所述第一固定电极指；连接部，所述连接部以经过所述支承部的周围的方式被配置，并且将所述多个第一固定电极指连接，

通过使所述连接部和所述支承部对置，从而构成所述第一静电电容形成部。

5.如权利要求3所述的物理量传感器，其中，

所述第三结构体具有：多个所述第二固定电极指；连接部，所述连接部以经过所述支承部的周围的方式被配置，并且将所述多个第二固定电极指连接，

通过使所述连接部和所述支承部对置，从而构成所述第二静电电容形成部。

6.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，

所述第一结构体具有所述可动部以及与所述可动部电连接的配线，

通过使所述配线与所述第二结构体交叉，从而构成所述第一静电电容形成部。

7.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，

所述第一结构体具有所述可动部以及与所述可动部电连接的配线，

通过使所述配线与第三结构体交叉，从而构成所述第二静电电容形成部。

8.一种物理量传感器装置，其特征在于，具有：

权利要求1所述的物理量传感器；

与所述物理量传感器电连接的电子部件。

9.一种电子设备，其特征在于，具有权利要求1所述的物理量传感器。

10.一种移动体，其特征在于，具有权利要求1所述的物理量传感器。