[发明专利]光学膜检查装置在审
| 申请号: | 201510493569.0 | 申请日: | 2015-08-12 |
| 公开(公告)号: | CN105372257A | 公开(公告)日: | 2016-03-02 |
| 发明(设计)人: | 李银珪;严东桓;朴宰贤 | 申请(专利权)人: | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号: | G01N21/94 | 分类号: | G01N21/94;G01N21/896 |
| 代理公司: | 北京鼎宏元正知识产权代理事务所(普通合伙) 11458 | 代理人: | 李波;武媛 |
| 地址: | 韩国全*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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| 摘要: | 本发明涉及光学膜检查装置。本发明涉及光学膜检查装置,其具备从被转送的膜的一侧照射光的光源、和对上述膜进行摄像的摄像装置,通过照射光的上述膜的光照射区域与被摄像的上述膜的摄像区域的一部分重合,从而即使只用1个光源和摄像装置也能够容易地观测各个缺陷,并且能够得到在各个摄像条件下摄像的图像,因此即使不存在多个光源和摄像装置,也能够容易地检测各种缺陷。 | ||
| 搜索关键词: | 光学 检查 装置 | ||
【主权项】:
一种光学膜检查装置,其具备从被转送的膜的一侧照射光的光源和对上述膜进行摄像的摄像装置,照射光的上述膜的光照射区域和被摄像的上述膜的摄像区域的一部分重合。
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