[发明专利]光学膜检查装置

权利要求书

1.一种光学膜检查装置，其具备从被转送的膜的一侧照射光的光源和对上述膜进行摄像的摄像装置，照射光的上述膜的光照射区域和被摄像的上述膜的摄像区域的一部分重合。

2.如权利要求1所述的光学膜检查装置，其中，上述光源和摄像装置在上述膜的转送方向彼此隔离。

3.如权利要求1所述的光学膜检查装置，其中，上述光源的光照射方向与摄像装置的摄像方向平行。

4.如权利要求1所述的光学膜检查装置，其中，上述光源的光照射方向与摄像装置的摄像方向不平行。

5.如权利要求1所述的光学膜检查装置，其中，将上述摄像区域根据膜的转送方向划分为具有不同的照度范围的2个以上的子摄像区域，还具备：以在每个上述子摄像区域分别取得膜全体的图像的方式发出摄像周期信号的周期信号发生部；和接收来自上述周期信号发生部的摄像周期信号，在每个摄像周期将摄像信号传送到上述摄像装置，由从上述摄像装置接收的摄像图像检测缺陷的控制部。

6.如权利要求5所述的光学膜检查装置，其中，上述各子摄像区域具有彼此相同的宽度，上述周期信号发生部在每次将膜转送上述子摄像区域的宽度的部分时发出摄像周期信号。

7.如权利要求5所述的光学膜检查装置，其中，上述控制部通过将从各子摄像区域接收的摄像图像与子摄像区域分别结合，从而在每个子摄像区域中取得膜全体图像，基于此检测缺陷。

8.如权利要求1所述的光学膜检查装置，其中，上述光照射区域包含光学膜的有效区域，上述光源是在上述有效区域中以在膜的宽度方向具有同一照度的方式照射光的光源。

9.如权利要求5所述的光学膜的检查装置，其中，上述缺陷为异物缺陷、凹凸缺陷、或划痕缺陷。

10.如权利要求9所述的光学膜检查装置，其中，上述异物缺陷是在与周边的正常区域的照度差为10灰度以上的区域中横、纵的长度分别为30μm以上的黑色缺陷，凹凸缺陷为与周边的正常区域的照度差为10灰度以上的区域中横、纵的长度分别为30μm以上的黑白缺陷，划痕缺陷为与周边的正常区域的照度差为10灰度以上的区域中宽度为30μm以上并且长度为宽度的3倍以上的缺陷。

11.一种光学膜的检查方法，是从被转送的膜的一侧照射光，对上述膜进行摄像而检测光学膜的缺陷的方法，其中，照射光的上述膜的光照射区域和被摄像的上述膜的摄像区域的一部分重合。

12.如权利要求11所述的光学膜的检查方法，其中，将上述光源和摄像装置以在上述膜的转送方向彼此隔离的方式配置。

13.如权利要求11所述的光学膜的检查方法，其中，以上述光源的光照射方向和摄像装置的摄像方向平行的方式配置。

14.如权利要求11所述的光学膜的检查方法，其中，以上述光源的光照射方向和摄像装置的摄像方向不平行的方式配置。

15.如权利要求11所述的光学膜检查方法，其中，根据膜的转送方向，将上述摄像区域划分为具有不同照度范围的2个以上的子摄像区域，在将膜每次转送到子摄像区域的宽度的部分时对膜进行摄像，在每个子摄像区域分别取得膜全体的图像。

16.如权利要求11所述的光学膜的检查方法，其中，通过将从各子摄像区域接收的摄像图像与子摄像区域分别结合，从而在每个子摄像区域中取得膜全体图像。