[发明专利]透明基板的外观检查装置以及外观检查方法

摘要

本发明提供能够高精度地检测晶体坯的缺陷的透明基板的外观检查装置及外观检查方法。在玻璃板(2)上载置晶体坯(1)，对玻璃板(2)和晶体坯(1)，从玻璃板(2)的下方照射偏离镜面透射光的红色光，并且照射作为镜面透射光的绿色光。从玻璃板(2)的上方照射作为反射光的蓝色光。由拍摄单元(20)生成基于红色光的漫透射图像(30a)、基于绿色光的镜面透射图像(30b)、基于蓝色光的漫反射图像(30c)，在图像处理装置(30)中，将这些漫透射图像(30a)、镜面透射图像(30b)以及漫反射图像(30c)进行合成，得到合成图像(30d)。通过该合成图像(30d)，检测晶体坯(1)的缺陷部分(1a)。

主权项

一种透明基板的外观检查装置，其特征在于，具备：透明支持体，其载置透明基板；拍摄单元，其配置在透明支持体上方，拍摄透明基板以及透明支持体来生成图像；第1照明单元，其配置在透明支持体下方，使偏离相对于拍摄单元的镜面透射光的第1色光对透明支持体和透明基板入光；第2照明单元，其配置在透明支持体下方，使作为相对于拍摄单元的镜面透射光的第2色光对透明支持体和透明基板入光；第3照明单元，其配置在透明支持体上方，使成为反射光的第3色光对透明基板入光；以及图像处理装置，其根据由拍摄单元得到的基于第1色光的漫透射图像、基于第2色光的镜面透射图像、基于第3色光的漫反射图像，生成合成图像，来检测透明基板的缺陷，所述透明基板与所述透明支持体相比，对光的漫射程度不同。