[发明专利]透明基板的外观检查装置以及外观检查方法

权利要求书

1.一种透明基板的外观检查装置，其特征在于，具备：

透明支持体，其载置透明基板；

拍摄单元，其配置在透明支持体上方，拍摄透明基板以及透明支持体来生成图像；

第1照明单元，其配置在透明支持体下方，使偏离相对于拍摄单元的镜面透射光的第1色光对透明支持体和透明基板入光；

第2照明单元，其配置在透明支持体下方，使作为相对于拍摄单元的镜面透射光的第2色光对透明支持体和透明基板入光；

第3照明单元，其配置在透明支持体上方，使成为反射光的第3色光对透明基板入光；以及

图像处理装置，其根据由拍摄单元得到的基于第1色光的漫透射图像、基于第2色光的镜面透射图像、基于第3色光的漫反射图像，生成合成图像，来检测透明基板的缺陷，

所述透明基板与所述透明支持体相比，对光的漫射程度不同。

2.如权利要求1所述的透明基板的外观检查装置，其特征在于，

第1照明单元照射红色光作为第1色光，第2照明单元照射绿色光作为第2色光，第3照明单元照射蓝色光作为第3色光。

3.如权利要求1或2所述的透明基板的外观检查装置，其特征在于，

图像处理装置，在将漫透射图像的输出设为P1、将镜面透射图像的输出设为P2、将漫反射图像的输出设为P3的情况下，根据

-k1×P1+k2×P2+k3×P3

的计算式，来检测透明基板的缺陷，其中，k1、k2、k3为正数。

4.如权利要求3所述的透明基板的外观检查装置，其特征在于，

图像处理装置根据-P1+P2+P3的计算式，来检测透明基板的缺陷。

5.如权利要求1所述的透明基板的外观检查装置，其特征在于，

拍摄单元具有CCD照相机或CMOS照相机，该CCD照相机或CMOS照相机具备：接受第1色光、第2色光以及第3色光来生成图像的1个拍摄板或者接受第1色光、第2色光以及第3色光来生成图像的2个以上的拍摄板。

6.一种透明基板的外观检查方法，其特征在于，

包括：

将透明基板载置在透明支持体上的步骤；

从配置在透明支持体下方的第1照明单元，使偏离相对于配置在透明支持体上方的拍摄单元的镜面透射光的第1色光对透明支持体和透明基板入光，由拍摄单元生成图像的步骤；

从配置在透明支持体下方的第2照明单元，使作为相对于拍摄单元的镜面透射光的第2色光对透明支持体和透明基板入光，由拍摄单元生成图像的步骤；

从配置在透明支持体上方的第3照明单元，使成为反射光的第3色光对透明基板入光，由拍摄单元生成图像的步骤；以及

根据由拍摄单元得到的基于第1色光的漫透射图像、基于第2色光的镜面透射图像、基于第3色光的漫反射图像，由图像处理装置生成合成图像，来检测透明基板的缺陷的步骤，

所述透明基板与所述透明支持体相比，对光的漫射程度不同。

7.如权利要求6所述的透明基板的外观检查方法，其特征在于，

第1照明单元照射红色光作为第1色光，第2照明单元照射绿色光作为第2色光，第3照明单元照射蓝色光作为第3色光。

8.如权利要求6或7所述的透明基板的外观检查方法，其特征在于，

图像处理装置，在将漫透射图像的输出设为P1、将镜面透射图像的输出设为P2、将漫反射图像的输出设为P3的情况下，根据

-k1×P1+k2×P2+k3×P3

的计算式，来检测透明基板的缺陷，其中，k1、k2、k3为正数。

9.如权利要求8所述的透明基板的外观检查方法，其特征在于，

图像处理装置根据-P1+P2+P3的计算式，来检测透明基板的缺陷。

10.如权利要求6所述的透明基板的外观检查方法，其特征在于，

拍摄单元具有CCD照相机或CMOS照相机，该CCD照相机或CMOS照相机具备：接受第1色光、第2色光以及第3色光来生成图像的1个拍摄板或者接受第1色光、第2色光以及第3色光来生成图像的2个以上的拍摄板。