[发明专利]透明基板的外观检查装置以及外观检查方法

说明书

技术领域

本发明涉及透明基板的外观检查装置以及外观检查方法，特别地涉及能够对透明基板高精度且可靠地进行外观检查的透明基板的外观检查装置以及外观检查方法。

背景技术

以往，作为晶体振子，采用平板状类型的晶体坯(blank)。另外，正在开发检测这样的晶体坯的缺陷的外观检查方法。

作为这样的以往的外观检查方法，有使光透射在透明支持体上载置的晶体坯，检测在缺陷等部分进行了漫反射的光，从而进行外观检查的方法(参照专利文献1)。

或者，有使光透射在透明支持体上载置的晶体坯，使用偏振板检测偏振状态在缺陷等部分发生变化的光，由此进行外观检查的方法(参照专利文献2)。

但是，根据专利文献1记载的方法，晶体坯上的所有的凹凸作为缺陷，检测得较白。特别是晶体坯周缘附近为凹状，都呈现得较白。因此，难以可靠地检测晶体坯周缘的缺陷。

另外，根据专利文献2记载的方法，晶体坯具有强的偏振特性，因此，只是在透明支持体上载置晶体坯时的方向发生变化，偏振状态就发生变化。因此，有时因透明支持体上的晶体坯的方向，无法可靠地检测晶体坯的缺陷。

而且还在专利文献1以及专利文献2的任一情况下都在透明支持体上载置了晶体坯，难以区别透明支持体中产生的缺陷和晶体坯中产生的缺陷。

[专利文献1]日本特开平9-288063号公报

[专利文献2]日本特开2000-81312号公报

发明内容

本发明是考虑这方面而完成的，其目的在于提供：特别能够高精度且可靠地对晶体坯检测外观的透明基板的外观检查装置以及外观检查方法。

本发明是透明基板的外观检查装置，其特征在于，在透明基板的外观检查装置中，具备：透明支持体，载置透明基板；拍摄单元，配置在透明支持体上方，拍摄透明基板以及透明支持体来生成图像；第1照明单元，配置在透明支持体下方，使偏离相对于拍摄单元的镜面透射光(正透射光)的第1色光对透明支持体和透明基板入光；第2照明单元，配置在透明支持体下方，使作为对于拍摄单元的镜面透射光的第2色光对透明支持体和透明基板入光；第3照明单元，配置在透明支持体上方，使成为反射光的第3色光对透明基板入光；以及图像处理装置，根据由拍摄单元得到的基于第1色光的漫透射图像、基于第2色光的镜面透射图像、基于第3色光的漫反射图像，生成合成图像，来检测透明基板的缺陷。

本发明是透明基板的外观检查装置，其特征在于，第1照明单元照射红色光作为第1色光，第2照明单元照射绿色光作为第2色光，第3照明单元照射蓝色光作为第3色光。

本发明是透明基板的外观检查装置，其特征在于，图像处理装置在将漫透射图像的输出设为P1、将镜面透射图像的输出设为P2、将漫反射图像的输出设为P3的情况下，根据-k1×P1+k2×P2+k3×P3(k1、k2、k3为正数)的计算式，来检测透明基板的缺陷。

本发明是透明基板的外观检查装置，其特征在于，图像处理装置根据-P1+P2+P3的计算式来检测透明基板的缺陷。

本发明是透明基板的外观检查装置，其特征在于，拍摄单元具有CCD照相机或CMOS照相机，该CCD照相机或CMOS照相机具备：接受第1色光、第2色光以及第3色光来生成图像的1个拍摄板或者接受第1色光、第2色光以及第3色光来生成图像的2个以上的拍摄板。

本发明是透明基板的外观检查方法，其特征在于，在透明基板的外观检查方法中，包括：将透明基板载置在透明支持体上的步骤；从配置在透明支持体下方的第1照明单元，使偏离相对于配置在透明支持体上方的拍摄单元的镜面透射光的第1色光对透明支持体和透明基板入光，由拍摄单元生成图像的步骤；从配置在透明支持体下方的第2照明单元使作为对于拍摄单元的镜面透射光的第2色光对透明支持体和透明基板入光，由拍摄单元生成图像的步骤；从配置在透明支持体上方的第3照明单元，使成为反射光的第3色光对透明基板入光，由拍摄单元生成图像的步骤；以及根据由拍摄单元得到的基于第1色光的漫透射图像、基于第2色光的镜面透射图像、基于第3色光的漫反射图像，由图像处理装置生成合成图像，来检测透明基板的缺陷的步骤。

本发明是透明基板的外观检查方法，其特征在于，第1照明单元照射红色光作为第1色光，第2照明单元照射绿色光作为第2色光，第3照明单元照射蓝色光作为第3色光。