[发明专利]掩模板表面微尘去除装置及除尘方法

摘要

一种掩模板表面微尘去除装置，包括：腔体，用于容置待除尘之掩模板，并设置进气孔、出气孔和进出门；承载平台，设置在腔体内，并在第一驱动装置的作用下以第一运动方式工作；吹扫装置，与外界气压源和第二驱动装置连接，并设置在掩模板之异于承载平台的一侧，且第二驱动装置驱动吹扫装置以第二运动方式工作，第一驱动装置驱动承载平台和吹扫装置以第一运动方式工作。本发明通过第一驱动装置按具体需要调节承载平台和吹扫装置之作业平面，并藉由吹扫装置和第二驱动装置之结合，不仅使得在一个吹扫周期中加大了单位时间内单位面积的吹扫频率，提高了掩模板之表面微尘的去除效率，而且全方位吹扫，除尘更为彻底。

主权项

一种掩模板表面微尘去除装置，其特征在于，所述掩模板表面微尘去除装置，包括：腔体，用于容置待除尘之掩模板，并在所述腔体上设置进气孔、出气孔和所述掩模板之进出门；承载平台，设置在所述腔体内，用以承载所述待除尘之掩模板，并在第一驱动装置的作用下以第一运动方式工作；吹扫装置，与外界气压源和第二驱动装置连接，并设置在所述待除尘的掩模板之异于所述承载平台的一侧，且所述第二驱动装置驱动所述吹扫装置以第二运动方式工作，所述第一驱动装置驱动所述承载平台和所述吹扫装置同步以第一运动方式工作。