[发明专利]一种LDI双工件曝光装置及曝光方法有效
| 申请号： | 201510434790.9 | 申请日： | 2015-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN104950599B | 公开（公告）日： | 2019-07-19 |
| 发明（设计）人： | 张磊;王晓光;卫功文 | 申请（专利权）人： | 合肥芯硕半导体有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人： | 胡剑辉 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种LDI双工件曝光装置，其包括第一保护门、第二保护门、第一工件台与第二工件台；所述第一工件台、第二工件台分别用于固定待曝光的PCB板，所述第一工件台、第二工件台在自身的移动行程范围内对PCB板进行曝光；所述第一保护门、第二保护门分别设于所述第一工件台、第二工件台的上侧，所述第一保护门、第二保护门分别平行且处于不同平面，所述第一保护门、第二保护门可沿自身所在平面位移至所述第二工件台、第一工件台的上侧；本申请还提供了LDI双工件曝光装置的曝光方法。本发明提供的曝光装置通过设置安全门，避免操作人员触碰到运动中的工件台；还通过保护挡板将工件台隔开，可阻挡操作人员的手误入曝光区域一侧，被运动的吸盘撞到。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ldi 双工 曝光 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种LDI双工件曝光装置，其特征在于，包括第一保护门、第二保护门、第一工件台与第二工件台；所述第一工件台、第二工件台分别用于固定待曝光的PCB板，所述第一工件台、第二工件台分别具有一移动行程，所述第一工件台、第二工件台在自身的移动行程范围内对所述PCB板进行曝光；所述第一保护门、第二保护门分别设于所述第一工件台、第二工件台的上侧并将所述第一工件台、第二工件台的曝光区域遮盖，所述第一保护门、第二保护门分别平行且处于不同平面，所述第一保护门、第二保护门可沿自身所在平面位移至所述第二工件台、第一工件台的上侧。
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