[发明专利]一种LDI双工件曝光装置及曝光方法

说明书

本发明提供了一种LDI双工件曝光装置，其包括第一保护门、第二保护门、第一工件台与第二工件台；所述第一工件台、第二工件台分别用于固定待曝光的PCB板，所述第一工件台、第二工件台在自身的移动行程范围内对PCB板进行曝光；所述第一保护门、第二保护门分别设于所述第一工件台、第二工件台的上侧，所述第一保护门、第二保护门分别平行且处于不同平面，所述第一保护门、第二保护门可沿自身所在平面位移至所述第二工件台、第一工件台的上侧；本申请还提供了LDI双工件曝光装置的曝光方法。本发明提供的曝光装置通过设置安全门，避免操作人员触碰到运动中的工件台；还通过保护挡板将工件台隔开，可阻挡操作人员的手误入曝光区域一侧，被运动的吸盘撞到。

技术领域

本发明涉及LDI光刻机领域，特别是一种用于曝光PCB板的双工件台装置及其曝光方法。

背景技术

随着PCB产业的迅速发展，单工件台的曝光机已不能满足生产的需要，更快，更高产能的双工件台曝光机应运而生。然而双工件台曝光机在带来高效生产的同时，也埋下了安全事故的隐患。

双工件台曝光机，就是在一个机器上放置两件工件台，将曝光工序与放板工序在两个工件台上分开，但在单个工件台上又连续，利用其中一个工件台曝光的时间空档，给另一个工件台放板，如此循环罔替，从而减少时间浪费，提高工作效率，提升产能。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明提供了一种LDI双工件曝光装置，其特征在于，包括第一保护门、第二保护门、第一工件台与第二工件台；

所述第一工件台、第二工件台分别用于固定待曝光的PCB板，所述第一工件台、第二工件台分别具有一移动行程，所述第一工件台、第二工件台在自身的移动行程范围内对所述PCB板进行曝光；

所述第一保护门、第二保护门分别设于所述第一工件台、第二工件台的上侧并将所述第一工件台、第二工件台的曝光区域遮盖，所述第一保护门、第二保护门分别平行且处于不同平面，所述第一保护门、第二保护门可沿自身所在平面位移至所述第二工件台、第一工件台的上侧。

较佳地，其还包括设于所述第一保护门、第二保护门之间的保护挡板，所述保护挡板与所述第一保护门、第二保护门垂直，所述保护挡板用于间隔所述第一工件台、第二工件台。

较佳地，所述第一工件台与第二工件台上分别设有吸盘，所述吸盘用于吸附PCB板。

较佳地，还包括导轨组件，所述第一保护门、第二保护门与所述导轨组件连接，并在所述导轨组件上滑动完成位移。

较佳地，所述第一工件台与第二工件台与所述导轨组件连接，并在所述导轨组件上滑动完成位移。

较佳地，还包括驱动组件，所述驱动组件用于驱动所述第一保护门、第二保护门、第一工件台、第二工件台在所述导轨组件上移动。

本发明还提供了一种所述的LDI双工件曝光装置的曝光方法，其包括步骤：

S1：控制所述第一保护门、第二保护门移动至所述第一工件台上侧；

S2：将PCB板放置在所述第二工件台的吸盘上，开启真空吸附将所述PCB板固定在所述第二工件台上；

S3：控制所述第一保护门、第二保护门位移至所述第二工件台上侧；

S4：对所述第二工件台上的PCB板进行曝光，在曝光的过程中在所述第一工件台的吸盘上放置PCB板；

S5：曝光结束后控制所述第一保护门、第二保护门位移至所述第一工件台上侧；

S6：对所述第一工件台上的PCB板进行曝光，在曝光的过程中将所述第二工件台上已曝光的PCB板取下，重新放置一未曝光的PCB板；