[发明专利]彩膜基板的制作方法及其结构

摘要

本发明提供一种彩膜基板的制作方法及其结构。本发明的彩膜基板的制作方法，通过采用三道半色调光罩依次对红、绿、蓝色阻层进行曝光、显影，分别在形成红、绿、蓝色阻块的同时，形成红、绿、蓝色阻薄膜，使红、绿、蓝色阻薄膜叠加构成复合色阻薄膜，代替了黑色矩阵，省去了黑色矩阵制程，并可通过调节红、绿、蓝色阻薄膜的厚度控制所述复合色阻薄膜的厚度，以调节遮光效果；同时避免了因色阻和黑色矩阵之间相互覆盖而产生的牛角现象，避免了色差，改善了产品品质，提升了产品良率。本发明的彩膜基板结构，采用红、绿、蓝色阻薄膜叠加构成的复合色阻薄膜代替了黑色矩阵，成本较低，且避免了因色阻和黑色矩阵之间相互覆盖而产生的牛角现象，无色差。

主权项

一种彩膜基板的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1、提供基板(1)，在所述基板(1)上沉积第一色阻层；通过第一道半色调光罩(91)对所述第一色阻层进行曝光、显影，在所述基板(1)上得到数个间隔分布的第一色阻块(10)、及数个第一色阻薄膜(101)；其中，每两个相邻的第一色阻块(10)之间间隔分布有三个第一色阻薄膜(101)，所述三个第一色阻薄膜(101)中位于两侧的第一色阻薄膜(101)分别与其邻近的第一色阻块(10)相连接，所述三个第一色阻薄膜(101)之间形成两个第一间隙(102)；步骤2、在所述基板(1)上沉积第二色阻层，所述第二色阻层填充于所述数个第一色阻块(10)之间的区域，并覆盖所述数个第一色阻薄膜(101)；通过第二道半色调光罩(92)对所述第二色阻层进行曝光、显影，在所述基板(1)上得到分别位于所述数个第一色阻块(10)同一侧的第一间隙(102)处的数个第二色阻块(20)、及位于所述数个第一色阻薄膜(101)上的数个第二色阻薄膜(201)；步骤3、在所述基板(1)上沉积第三色阻层，所述第三色阻层填充于所述数个第一、第二色阻块(10、20)之间的区域，并覆盖所述数个第二色阻薄膜(201)；通过第三道半色调光罩(93)对所述第三色阻层进行曝光、显影，在所述基板(1)上得到分别位于所述数个第二色阻块(20)远离所述第一色阻块(10)一侧的第一间隙(102)处的数个第三色阻块(30)、及位于所述数个第二色阻薄膜(201)上的数个第三色阻薄膜(301)；所述数个相对应的第一、第二、第三色阻薄膜(101、201、301)从下至上依次叠加，形成数个复合色阻薄膜，所述数个复合色阻薄膜位于所述数个第一、第二、第三色阻块(10、20、30)之间，从而代替黑色矩阵，起到遮挡漏光的作用。