[发明专利]彩膜基板的制作方法及其结构

权利要求书

1.一种彩膜基板的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1、提供基板(1)，在所述基板(1)上沉积第一色阻层；

通过第一道半色调光罩(91)对所述第一色阻层进行曝光、显影，在所述基板(1)上得到数个间隔分布的第一色阻块(10)、及数个第一色阻薄膜(101)；

其中，每两个相邻的第一色阻块(10)之间间隔分布有三个第一色阻薄膜(101)，所述三个第一色阻薄膜(101)中位于两侧的第一色阻薄膜(101)分别与其邻近的第一色阻块(10)相连接，所述三个第一色阻薄膜(101)之间形成两个第一间隙(102)；

步骤2、在所述基板(1)上沉积第二色阻层，所述第二色阻层填充于所述数个第一色阻块(10)之间的区域，并覆盖所述数个第一色阻薄膜(101)；

通过第二道半色调光罩(92)对所述第二色阻层进行曝光、显影，在所述基板(1)上得到分别位于所述数个第一色阻块(10)同一侧的第一间隙(102)处的数个第二色阻块(20)、及位于所述数个第一色阻薄膜(101)上的数个第二色阻薄膜(201)；

步骤3、在所述基板(1)上沉积第三色阻层，所述第三色阻层填充于所述数个第一、第二色阻块(10、20)之间的区域，并覆盖所述数个第二色阻薄膜(201)；

通过第三道半色调光罩(93)对所述第三色阻层进行曝光、显影，在所述基板(1)上得到分别位于所述数个第二色阻块(20)远离所述第一色阻块(10)一侧的第一间隙(102)处的数个第三色阻块(30)、及位于所述数个第二色阻薄膜(201)上的数个第三色阻薄膜(301)；

所述数个相对应的第一、第二、第三色阻薄膜(101、201、301)从下至上依次叠加，形成数个复合色阻薄膜，所述数个复合色阻薄膜位于所述数个第一、第二、第三色阻块(10、20、30)之间，从而代替黑色矩阵，起到遮挡漏光的作用。

2.如权利要求1所述的彩膜基板的制作方法，其特征在于，还包括：步骤4、在所述数个第一、第二、第三色阻块(10、20、30)、及第三色阻薄膜(301)上制作外覆层。

3.如权利要求1所述的彩膜基板的制作方法，其特征在于，所述第一、第二、第三色阻为红、绿、蓝色阻按任意顺序的排列组合。

4.如权利要求1所述的彩膜基板的制作方法，其特征在于，步骤2中，所述第一、第二、第三色阻薄膜(101、201、301)的大小和形状完全相同。

5.如权利要求1所述的彩膜基板的制作方法，其特征在于，步骤3中，所述第一、第二、第三色阻块(10、20、30)的厚度相同。

6.如权利要求1所述的彩膜基板的制作方法，其特征在于，通过调整所述第一、第二、第三色阻薄膜(101、201、301)的厚度来控制所述复合色阻薄膜的光密度值。

7.一种彩膜基板结构，其特征在于，包括基板(1)、间隔分布于所述基板(1)上的数个第一、第二、第三色阻块(10、20、30)、及设于所述基板(1)上将所述数个第一、第二、第三色阻块(10、20、30)间隔开的数个复合色阻薄膜；

所述复合色阻薄膜包括叠加设置的第一、第二、第三色阻薄膜(101、201、301)。

8.如权利要求7所述的彩膜基板结构，其特征在于，所述第一、第二、第三色阻为红、绿、蓝色阻按任意顺序的排列组合。

9.如权利要求7所述的彩膜基板结构，其特征在于，所述复合色阻薄膜从下至上依次由第一、第二、第三色阻薄膜(101、201、301)叠加而成，构成每一复合色阻薄膜的第一、第二、第三色阻薄膜(101、201、301)中，有两层色阻薄膜分别与其邻近的第一、第二、或第三色阻块(10、20、30)颜色相同。

10.如权利要求7所述的彩膜基板结构，其特征在于，所述第一、第二、第三色阻块(10、20、30)呈岛状。