[发明专利]彩膜基板的制作方法及其结构在审
申请号: | 201510407669.7 | 申请日: | 2015-07-10 |
公开(公告)号: | CN104932139A | 公开(公告)日: | 2015-09-23 |
发明(设计)人: | 孙海燕;申智渊;龙冲 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/1335 | 分类号: | G02F1/1335 |
代理公司: | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人: | 林才桂 |
地址: | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 彩膜基板 制作方法 及其 结构 | ||
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种彩膜基板的制作方法及其结构。
背景技术
液晶显示装置(LCD,Liquid Crystal Display)具有机身薄、省电、无辐射等众多优点,得到了广泛的应用。如:液晶电视、移动电话、个人数字助理(PDA)、数字相机、计算机屏幕或笔记本电脑屏幕等。
通常液晶显示装置包括壳体、设于壳体内的液晶面板及设于壳体内的背光模组(Backlight module)。其中,液晶面板的结构主要是由一薄膜晶体管阵列基板(Thin Film Transistor Array Substrate,TFT Array Substrate)、一彩色滤光片基板(Color Filter,CF)、以及配置于两基板间的液晶层(Liquid Crystal Layer)所构成,其工作原理是通过在两片玻璃基板上施加驱动电压来控制液晶层的液晶分子的旋转,将背光模组的光线折射出来产生画面。
彩色滤光片基板即彩膜基板是液晶显示器的重要组成部分,传统的彩膜基板的制作方法为制作完黑色矩阵(Black Matrix,BM)后,再制作红/绿/蓝色阻层。黑色矩阵的制作方法是:先在基板上均匀涂布一层黑色矩阵材料,然后曝光,显影,最终制备出黑色矩阵膜层,该方式预计将有50%左右的黑色矩阵材料被显影掉,造成黑色矩阵材料的浪费;且黑色矩阵膜层上形成红/绿/蓝色阻层时,为了避免漏光,黑色矩阵与红/绿/蓝色阻之间会因为相互叠加而产生牛角现象,如果后制程要涂布外覆层(Over Coat,OC),则需要更厚的外覆层才能达到平坦度要求,如果后制程为ITO(氧化铟锡),则过高的牛角会刺穿ITO,在成盒制程时可能产生点或者线不良,降低产品良率。
因此,有必要提供一种彩膜基板的制作方法及其结构,以解决上述问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种彩膜基板的制作方法,可省去黑色矩阵制程,减小外覆层的厚度,节省成本,同时可避免因色阻和黑色矩阵之间相互覆盖而产生的牛角现象,避免色差,改善产品品质,提升产品良率。
本发明的目的还在于提供一种彩膜基板结构,采用红、绿、蓝色阻薄膜叠加构成的复合色阻薄膜代替黑色矩阵,成本较低,且无色差。
为实现上述目的,本发明提供一种彩膜基板的制作方法,包括如下步骤:
步骤1、提供基板,在所述基板上沉积第一色阻层;
通过第一道半色调光罩对所述第一色阻层进行曝光、显影,在所述基板上得到数个间隔分布的第一色阻块、及数个第一色阻薄膜;
其中,每两个相邻的第一色阻块之间间隔分布有三个第一色阻薄膜,所述三个第一色阻薄膜中位于两侧的第一色阻薄膜分别与其邻近的第一色阻块相连接,所述三个第一色阻薄膜之间形成两个第一间隙;
步骤2、在所述基板上沉积第二色阻层,所述第二色阻层填充于所述数个第一色阻块之间的区域,并覆盖所述数个第一色阻薄膜;
通过第二道半色调光罩对所述第二色阻层进行曝光、显影,在所述基板上得到分别位于所述数个第一色阻块同一侧的第一间隙处的数个第二色阻块、及位于所述数个第一色阻薄膜上的数个第二色阻薄膜;
步骤3、在所述基板上沉积第三色阻层,所述第三色阻层填充于所述数个第一、第二色阻块之间的区域,并覆盖所述数个第二色阻薄膜;
通过第三道半色调光罩对所述第三色阻层进行曝光、显影,在所述基板上得到分别位于所述数个第二色阻块远离所述第一色阻块一侧的第一间隙处的数个第三色阻块、及位于所述数个第二色阻薄膜上的数个第三色阻薄膜;
所述数个相对应的第一、第二、第三色阻薄膜从下至上依次叠加,形成数个复合色阻薄膜,所述数个复合色阻薄膜位于所述数个第一、第二、第三色阻块之间,从而代替黑色矩阵,起到遮挡漏光的作用。
还包括:步骤4、在所述数个第一、第二、第三色阻块、及第三色阻薄膜上制作外覆层。
所述第一、第二、第三色阻为红、绿、蓝色阻按任意顺序的排列组合。
步骤2中,所述第一、第二、第三色阻薄膜的大小和形状完全相同。
步骤3中,所述第一、第二、第三色阻块的厚度相同。
通过调整所述第一、第二、第三色阻薄膜的厚度来控制所述复合色阻薄膜的光密度值。
本发明还提供一种彩膜基板结构,包括基板、间隔分布于所述基板上的数个第一、第二、第三色阻块、及设于所述基板上将所述数个第一、第二、第三色阻块间隔开的数个复合色阻薄膜;
所述复合色阻薄膜包括叠加设置的第一、第二、第三色阻薄膜。
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