[发明专利]一种5N级超高纯三氯氧磷的连续提纯系统及工艺有效
| 申请号： | 201510402701.2 | 申请日： | 2015-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN105016320B | 公开（公告）日： | 2017-03-08 |
| 发明（设计）人： | 殷福华;朱永刚;朱龙;栾成;邵勇;赵文虎;李英 | 申请（专利权）人： | 江阴江化微电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B25/10 | 分类号： | C01B25/10;B01D3/14 |
| 代理公司： | 江阴大田知识产权代理事务所(普通合伙)32247 | 代理人： | 杜兴 |
| 地址： | 214400 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种5N级超高纯三氯氧磷的连续提纯系统，包括供料储罐，供料储罐与原料中间罐连通，原料中间罐的出料口分别与精馏釜的进料口和第一冷凝器的壳程进料口连接，精馏釜的顶端出料口通过精馏塔与第一冷凝器的管程蒸气进料口连接，第一冷凝器的壳程出料口与原料中间罐的进料口连接，第一冷凝器的管程冷凝液出料口与成品收集单元连接，第一冷凝器的管程轻组分出料口与轻组分处理单元连接，精馏釜的釜底重组分出料口与废液处理单元连接，原料中间罐和精馏釜的夹套与导热油循环加热单元连接，轻组分处理单元内设置有用于排空的真空泵，该连续提纯系统氮气保护。本发明还公开了一种连续提纯工艺，该工艺工程短，所得产品纯度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 三氯氧磷 连续 提纯 系统 工艺 | ||
【主权项】：
一种5N级超高纯三氯氧磷的连续提纯系统，其特征在于，包括供料储罐，供料储罐与原料中间罐连通，原料中间罐的出料口分别与精馏釜的进料口和第一冷凝器的壳程进料口连接，精馏釜的顶端出料口通过精馏塔与第一冷凝器的管程蒸气进料口连接，第一冷凝器的壳程出料口与原料中间罐的进料口连接，第一冷凝器的管程冷凝液出料口与成品收集单元连接，第一冷凝器的管程轻组分出料口与轻组分处理单元连接，精馏釜的釜底重组分出料口与废液处理单元连接，原料中间罐和精馏釜的夹套与导热油循环加热单元连接，所述轻组分处理单元内连通设置有真空缓冲罐，所述真空缓冲罐通过真空管与真空泵连通，供料储罐、原料中间罐、精馏釜分别与氮气气源连通。
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