[发明专利]采用纳米压入测试技术预测薄膜疲劳失效的方法在审
| 申请号： | 201510380778.4 | 申请日： | 2015-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN104990821A | 公开（公告）日： | 2015-10-21 |
| 发明（设计）人： | 苏建丽 | 申请（专利权）人： | 青岛文创科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N3/42 | 分类号： | G01N3/42 |
| 代理公司： | 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙) 11316 | 代理人： | 钟廷良 |
| 地址： | 266061 山东省青岛市崂山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种采用纳米压入测试技术预测薄膜疲劳失效的方法，属于薄膜疲劳失效的预测方法。本发明的薄膜疲劳失效预测方法的具体步骤如下：采用磁控溅射技术制备组织均匀的薄膜；然后将薄膜放在纳米压痕仪上并设定载荷平均值、载荷幅值、加载频率以进行测试；在测试过程中记录薄膜的存数刚度随时间的变化关系；通过分析实验结果，找出数据中存数刚度变化的转折点以得出薄膜发生疲劳失效的时间。本发明的薄膜测试中薄膜为铝、钛金、锆、银、镍、钼、硅或钛铝薄膜。本发明采用纳米压入测试技术预测薄膜疲劳失效的方法操作简单，结果准确有效并且适应性强。 | ||
| 搜索关键词： | 采用 纳米 测试 技术 预测 薄膜 疲劳 失效 方法 | ||
【主权项】：
一种采用纳米压入测试技术预测薄膜疲劳失效的方法，其具体步骤如下：(1)采用磁控溅射技术制备组织均匀的薄膜；(2)将所得薄膜放在纳米压痕仪上，设定载荷平均值、载荷幅值以及加载频率后进行测试；(3)测试并记录薄膜的存数刚度随时间的变化；(4)分析实验结果，找出数据中存数刚度变化的转折点，即得到薄膜发生疲劳失效的时间；上述薄膜为铝、钛金、锆、银、镍、钼、硅或钛铝薄膜，其厚度为10~50nm。
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