[发明专利]采用纳米压入测试技术预测薄膜疲劳失效的方法在审
| 申请号： | 201510380778.4 | 申请日： | 2015-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN104990821A | 公开（公告）日： | 2015-10-21 |
| 发明（设计）人： | 苏建丽 | 申请（专利权）人： | 青岛文创科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N3/42 | 分类号： | G01N3/42 |
| 代理公司： | 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙) 11316 | 代理人： | 钟廷良 |
| 地址： | 266061 山东省青岛市崂山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 采用 纳米 测试 技术 预测 薄膜 疲劳 失效 方法 | ||
1.一种采用纳米压入测试技术预测薄膜疲劳失效的方法，其具体步骤如下：
(1)采用磁控溅射技术制备组织均匀的薄膜；
(2)将所得薄膜放在纳米压痕仪上，设定载荷平均值、载荷幅值以及加载频率后进行测试；
(3)测试并记录薄膜的存数刚度随时间的变化；
(4)分析实验结果，找出数据中存数刚度变化的转折点，即得到薄膜发生疲劳失效的时间；
上述薄膜为铝、钛金、锆、银、镍、钼、硅或钛铝薄膜，其厚度为10~50nm。
2.根据权利要求1所述的一种采用纳米压入测试技术预测薄膜疲劳失效的方法，其特征在于：上述载荷平均值为1~4mN、载荷幅值为0.2mN~0.9mN、加载频率为20~80Hz。
3.根据权利要求1所述的一种采用纳米压入测试技术预测薄膜疲劳失效的方法，其特征在于：上述铝薄膜的厚度为15nm。
4.根据权利要求1所述的一种采用纳米压入测试方法的薄膜疲劳失效预测方法，其特征在于：上述钛金薄膜厚度为30nm。
5.根据权利要求1所述的一种采用纳米压入测试方法的薄膜疲劳失效预测方法，其特征在于：上述锆薄膜厚度为25nm。
6.根据权利要求1所述的一种采用纳米压入测试方法的薄膜疲劳失效预测方法，其特征在于：上述银薄膜厚度为10nm。
7.根据权利要求1所述的一种采用纳米压入测试方法的薄膜疲劳失效预测方法，其特征在于：上述镍薄膜厚度为20nm。
8.根据权利要求1所述的一种采用纳米压入测试方法的薄膜疲劳失效预测方法，其特征在于：上述钼薄膜厚度为55nm。
9.根据权利要求1所述的一种采用纳米压入测试方法的薄膜疲劳失效预测方法，其特征在于：上述硅薄膜厚度为25nm。
10.根据权利要求1所述的一种采用纳米压入测试方法的薄膜疲劳失效预测方法，其特征在于：上述钛铝薄膜厚度为25nm。
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