[发明专利]一种MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201510373764.X | 申请日： | 2015-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN104902403A | 公开（公告）日： | 2015-09-09 |
| 发明（设计）人： | 刘文涛;袁兆斌 | 申请（专利权）人： | 歌尔声学股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R9/04 | 分类号： | H04R9/04 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 马佑平;马铁良 |
| 地址： | 261031 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS麦克风，包括：线路板、设置于线路板上方的支撑部、设置于支撑部上方的一体MEMS芯片，以及外壳；线路板和外壳围成腔体，将支撑部和一体MEMS芯片封装在腔体内部；一体MEMS芯片包括并列的第一MEMS单元和第二MEMS单元；线路板开设有第一通孔；支撑部对应于第一MEMS单元开设有第二通孔，并且对应于第二MEMS单元开设有第三通孔；第一通孔位于第二通孔和第三通孔之间，第一、第二、第三通孔互相连通以形成分岔的声孔。本发明的MEMS麦克风利用现有MEMS单元增大检测电容的面积，提高了麦克风产品的信噪比。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 麦克风 | ||
【主权项】：
一种MEMS麦克风，其特征在于，包括：线路板(100)、设置于线路板(100)上方的支撑部(200)、设置于支撑部(200)上方的一体MEMS芯片(300)、以及外壳(1)；所述线路板(100)和外壳(1)围成腔体，将所述支撑部(200)和一体MEMS芯片(300)封装在腔体内部；所述一体MEMS芯片(300)包括并列的第一MEMS单元(301)和第二MEMS单元(302)；所述线路板(100)开设有第一通孔(102)；所述支撑部(200)对应于第一MEMS单元(301)开设有第二通孔(202)，并且对应于第二MEMS单元开设有第三通孔(203)；所述第一通孔(102)位于第二通孔(202)和第三通孔(203)之间，所述第一、第二、第三通孔(102、202、203)互相连通以形成分岔的声孔。
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