[发明专利]一种MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201510373764.X | 申请日： | 2015-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN104902403A | 公开（公告）日： | 2015-09-09 |
| 发明（设计）人： | 刘文涛;袁兆斌 | 申请（专利权）人： | 歌尔声学股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R9/04 | 分类号： | H04R9/04 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 马佑平;马铁良 |
| 地址： | 261031 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 mems 麦克风 | ||
1.一种MEMS麦克风，其特征在于，包括：线路板(100)、设置于线路板(100)上方的支撑部(200)、设置于支撑部(200)上方的一体MEMS芯片(300)、以及外壳(1)；所述线路板(100)和外壳(1)围成腔体，将所述支撑部(200)和一体MEMS芯片(300)封装在腔体内部；
所述一体MEMS芯片(300)包括并列的第一MEMS单元(301)和第二MEMS单元(302)；所述线路板(100)开设有第一通孔(102)；所述支撑部(200)对应于第一MEMS单元(301)开设有第二通孔(202)，并且对应于第二MEMS单元开设有第三通孔(203)；所述第一通孔(102)位于第二通孔(202)和第三通孔(203)之间，所述第一、第二、第三通孔(102、202、203)互相连通以形成分岔的声孔。
2.根据权利要求1所述的麦克风，其特征在于，所述支撑部(200)为硅片。
3.根据权利要求1所述的麦克风，其特征在于，所述第一MEMS单元(301)和第二MEMS单元(302)分别为差分电容结构，分别包括：位于中间的振膜，位于振膜上方的第一背极板以及位于振膜下方的第二背极板。
4.根据权利要求1所述的麦克风，其特征在于，所述线路板(100)与支撑部(200)接触的一面开设有第一凹槽(101)，所述第一凹槽(101)连通所述第一、第二、第三通孔(102、202、203)以形成所述分岔的声孔。
5.根据权利要求1所述的麦克风，其特征在于，所述支撑部(200)与线路板(100)接触的一面开设有第二凹槽(201)，所述第二凹槽(201)连通所述第一、第二、第三通孔(102、202、203)以形成所述分岔的声孔。
6.根据权利要求1所述的麦克风，其特征在于，所述线路板(100)与支撑部(200)接触的一面开设有第一凹槽(101)，所述支撑部(200)与线路板(100)接触的一面开设有与所述第一凹槽(101)相对的第二凹槽(201)；所述第一凹槽(101)和第二凹槽(201)连通所述第一、第二、第三通孔(102、202、203)以形成所述分岔的声孔。
7.根据权利要求1所述的麦克风，其特征在于，还包括设置于线路板(100)上的ASIC芯片(600)；所述第一MEMS单元(301)和第二MEMS单元(302)通过转接器(800)与所述ASIC芯片(600)电连接，或者所述第一MEMS单元(301)和第二MEMS单元(302)通过线路板(100)上的电路与所述ASIC芯片(600)电连接。
8.根据权利要求1所述的麦克风，其特征在于，还包括一个设置于线路板(100)上的ASIC芯片(600)，所述第一MEMS单元(301)和第二MEMS单元(302)共用所述ASIC芯片(600)。
9.根据权利要求1-8任一项所述的麦克风，其特征在于，所述第一MEMS单元(301)和第二MEMS单元(302)并联。
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