[发明专利]一种测量高超声速流动中表面热流率的集成薄膜传感器在审
| 申请号： | 201510324489.2 | 申请日： | 2015-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN104931229A | 公开（公告）日： | 2015-09-23 |
| 发明（设计）人： | 李素循;师军;皇甫根环;马继魁 | 申请（专利权）人： | 中国航天空气动力技术研究院 |
| 主分类号： | G01M9/06 | 分类号： | G01M9/06 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人： | 史霞 |
| 地址： | 100074 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种测量高超声速流动中表面热流率的集成薄膜传感器，包括：玻璃基底，其为一个整体，且为一个平板；以及测温元件组，每个测温元件包括在所述玻璃基底的一定区域内采用镀膜工艺制备的一个金属薄膜，相邻的金属薄膜之间彼此隔开一定距离，所有的金属薄膜规则排列，且具有相同的电阻温度特性，所述金属薄膜的材料为铂。传感器集成度最高，提高了测量数据精度；传感器可与待测模型进行无缝胶结，降低了因安装造成的偏差；多次重复性试验验证，确保传感器准确性。试验结果表明，本发明集成薄膜传感器，经过23次高低压气流冲刷，损坏率仅为6％，数据重复性误差在5％之内。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 高超 声速 流动 表面 热流 集成 薄膜 传感器 | ||
【主权项】：
一种测量高超声速流动中表面热流率的集成薄膜传感器，其特征在于，包括：玻璃基底，其为一个整体，且为一个平板；以及测温元件组，每个测温元件包括在所述玻璃基底的一定区域内采用镀膜工艺制备的一个金属薄膜，相邻的金属薄膜之间彼此隔开一定距离，所有的金属薄膜规则排列，且具有相同的电阻温度特性，所述金属薄膜的材料为铂。
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