[发明专利]一种测量高超声速流动中表面热流率的集成薄膜传感器

权利要求书

1.一种测量高超声速流动中表面热流率的集成薄膜传感器，其特征在于，包括：

玻璃基底，其为一个整体，且为一个平板；以及

测温元件组，每个测温元件包括在所述玻璃基底的一定区域内采用镀膜工艺制备的一个金属薄膜，相邻的金属薄膜之间彼此隔开一定距离，所有的金属薄膜规则排列，且具有相同的电阻温度特性，所述金属薄膜的材料为铂。

2.如权利要求1所述的测量高超声速流动中表面热流率的集成薄膜传感器，其特征在于，所有的金属薄膜在所述玻璃基底上的分布构成若干列，每列沿所述玻璃基底的长度方向排列，相邻两个金属薄膜间隔距离相等；每个金属薄膜呈长条形，其长度方向平行于所述玻璃基底的宽度方向设置。

3.如权利要求2所述的测量高超声速流动中表面热流率的集成薄膜传感器，其特征在于，所有的金属薄膜的形状、面积和厚度均相等。

4.如权利要求2所述的测量高超声速流动中表面热流率的集成薄膜传感器，其特征在于，所述玻璃基底呈长方形。

5.如权利要求4所述的测量高超声速流动中表面热流率的集成薄膜传感器，其特征在于，所述玻璃基底的长度为50mm、80mm或100mm，宽度为10mm，厚度为0.8mm。

6.如权利要求5所述的测量高超声速流动中表面热流率的集成薄膜传感器，其特征在于，所述玻璃基底上形成有20-39个金属薄膜。

7.如权利要求1所述的测量高超声速流动中表面热流率的集成薄膜传感器，其特征在于，所述镀膜工艺为通过对铂金靶进行轰击，使溅射出的离子束沉积于所述玻璃基底。