[发明专利]基板切断装置及方法有效
| 申请号： | 201510316541.X | 申请日： | 2015-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN105314838B | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 徐镛植 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C03B33/033 | 分类号： | C03B33/033 |
| 代理公司： | 11287 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 沈锦华 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本案发明涉及一种基板切断装置及方法。本发明提供一种基板切断装置，其可对形成有划线的基板沿划线方向进行加热或冷却从而有效地切断基板，且可精密地控制基板的加热或冷却从而有效地切断基板。本发明提供一种基板切断装置，其包含：第1热传导元件，对形成有划线的基板的第1区域进行加热或冷却；及第2热传导元件，在划线方向上以与第1热传导元件邻接的方式配置，与第1区域相反地对基板的第2区域进行冷却或加热。 | ||
| 搜索关键词： | 划线 加热 基板切断装置 热传导元件 冷却 基板 有效地 方式配置 控制基板 邻接 对基板 基板沿 精密 | ||
【主权项】：
1.一种基板切断装置，其包含：/n第1热传导元件，对形成有划线的基板的第1区域进行加热或冷却；/n第2热传导元件，以在所述划线方向上与所述第1热传导元件邻接的方式配置，且对所述基板的第2区域进行与所述第1区域相反的冷却或加热；及/n控制部，以使所述第1热传导元件及所述第2热传导元件分别对所述基板的第1区域及第2区域交替进行加热或冷却的方式控制。/n
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