[发明专利]基板切断装置及方法有效
| 申请号： | 201510316541.X | 申请日： | 2015-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN105314838B | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 徐镛植 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C03B33/033 | 分类号： | C03B33/033 |
| 代理公司： | 11287 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 沈锦华 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 划线 加热 基板切断装置 热传导元件 冷却 基板 有效地 方式配置 控制基板 邻接 对基板 基板沿 精密 | ||
1.一种基板切断装置，其包含：
第1热传导元件，对形成有划线的基板的第1区域进行加热或冷却；
第2热传导元件，以在所述划线方向上与所述第1热传导元件邻接的方式配置，且对所述基板的第2区域进行与所述第1区域相反的冷却或加热；及
控制部，以使所述第1热传导元件及所述第2热传导元件分别对所述基板的第1区域及第2区域交替进行加热或冷却的方式控制。
2.根据权利要求1所述的基板切断装置，其特征在于：所述第1热传导元件及所述第2热传导元件接触支撑所述基板，且对分别接触的所述基板的第1区域及第2区域进行加热或冷却。
3.根据权利要求1或2所述的基板切断装置，其特征在于：所述第2热传导元件以在所述划线方向上与所述第1热传导元件邻接的方式在所述第1热传导元件的两侧配置一对。
4.一种基板切断方法，其包含：
对形成有划线的基板的包含划线的第1区域进行加热或冷却的步骤；及
对在所述基板的所述划线方向上与所述第1区域邻接的第2区域进行与所述第1区域相反的冷却或加热的步骤；及
以对所述基板的第1区域与第2区域分别交替进行加热或冷却的方式控制的步骤。
5.根据权利要求4所述的基板切断方法，其特征在于：
在对所述基板的第1区域进行加热或冷却的步骤中，
通过接触支撑所述基板的第1热传导元件对所接触的所述基板的第1区域进行加热或冷却，且
在对所述基板的第2区域进行冷却或加热的步骤中，
通过接触支撑所述基板的第2热传导元件对所接触的所述基板的第2区域进行冷却或加热。
6.根据权利要求4或5所述的基板切断方法，其特征在于：所述基板的第2区域以在所述划线方向上与所述第1区域邻接的方式形成在所述第1区域的两侧。
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