[发明专利]胶带贴附装置及胶带贴附方法

摘要

一种胶带贴附装置及胶带贴附方法，该胶带贴附装置具有：基板保持部(1)，对基板(W)进行保持并使基板(W)旋转；以及胶带贴附单元(8)，将遮蔽胶带(7)贴附到由基板保持部(1)保持的基板(W)的周缘部。采用本发明，可用于粘贴对晶片等的基板的周缘部进行保护的遮蔽胶带。

主权项

1.一种胶带贴附装置，其特征在于,具有：基板保持部，该基板保持部对基板进行保持并使基板旋转；以及胶带贴附单元，该胶带贴附单元将遮蔽胶带贴附到保持于所述基板保持部的基板的周缘部，所述胶带贴附单元具有：侧辊，该侧辊将所述遮蔽胶带按压到所述基板的外周侧面；第1辊，该第1辊将按压在所述基板的外周侧面的所述遮蔽胶带沿该遮蔽胶带的长度方向折弯，且将所述遮蔽胶带的折弯部分贴附到所述基板的周缘部的上表面；第2辊，该第2辊将按压在所述基板的外周侧面的所述遮蔽胶带沿该遮蔽胶带的长度方向折弯，且将所述遮蔽胶带的折弯部分贴附到所述基板的周缘部的下表面；以及移动机构，该移动机构使所述第1辊和所述第2辊向互相接近及远离的方向移动，所述移动机构使所述第1辊及所述第2辊将所述遮蔽胶带按压到所述基板的周缘部的按压力变动。