[发明专利]胶带贴附装置及胶带贴附方法

权利要求书

1.一种胶带贴附装置，其特征在于,具有：

基板保持部，该基板保持部对基板进行保持并使基板旋转；以及

胶带贴附单元，该胶带贴附单元将遮蔽胶带贴附到保持于所述基板保持部的基板的周缘部，

所述胶带贴附单元具有：

侧辊，该侧辊将所述遮蔽胶带按压到所述基板的外周侧面；

第1辊，该第1辊将按压在所述基板的外周侧面的所述遮蔽胶带沿该遮蔽胶带的长度方向折弯，且将所述遮蔽胶带的折弯部分贴附到所述基板的周缘部的上表面；

第2辊，该第2辊将按压在所述基板的外周侧面的所述遮蔽胶带沿该遮蔽胶带的长度方向折弯，且将所述遮蔽胶带的折弯部分贴附到所述基板的周缘部的下表面；以及

移动机构，该移动机构使所述第1辊和所述第2辊向互相接近及远离的方向移动，

所述移动机构使所述第1辊及所述第2辊将所述遮蔽胶带按压到所述基板的周缘部的按压力变动。

2.如权利要求1所述的胶带贴附装置，其特征在于，所述移动机构由气缸构成。

3.如权利要求1或2所述的胶带贴附装置，其特征在于，在所述基板旋转一次的期间，所述移动机构使所述第1辊及所述第2辊将所述遮蔽胶带按压到所述基板的周缘部的按压力周期性变动。

4.如权利要求1所述的胶带贴附装置，其特征在于，所述胶带贴附单元还具有胶带保持头，该胶带保持头对所述遮蔽胶带的始端进行保持并将该始端贴附到所述基板的外周侧面。

5.如权利要求1所述的胶带贴附装置，其特征在于，所述胶带贴附单元还具有定位部件，该定位部件进行与所述基板的表面垂直的方向上的所述遮蔽胶带的定位。

6.如权利要求5所述的胶带贴附装置，其特征在于，所述定位部件在所述遮蔽胶带的行进方向上配置于所述侧辊的上游侧，所述定位部件配置为，在所述遮蔽胶带处于与所述基板的外周侧面分开的状态下进行所述遮蔽胶带的定位。

7.如权利要求1所述的胶带贴附装置，其特征在于，所述胶带贴附单元还具有胶带切割器，该胶带切割器在所述遮蔽胶带的终端从所述基板的周缘部突出的状态下，将所述遮蔽胶带切断。

8.如权利要求1所述的胶带贴附装置，其特征在于，还具有胶带剥离单元，该胶带剥离单元从所述基板的周缘部剥离所述遮蔽胶带。

9.如权利要求8所述的胶带贴附装置，其特征在于，所述胶带剥离单元具有：

胶带输送辊，该胶带输送辊一边将所述遮蔽胶带从所述基板剥离，一边以与所述基板的旋转速度同步的速度将所述遮蔽胶带送出；以及

卷绕辊，该卷绕辊对从所述胶带输送辊送出的所述遮蔽胶带进行卷绕。

10.一种胶带贴附方法，其特征在于，

一边使基板旋转，一边将遮蔽胶带按压到基板的外周侧面；

一边使所述基板旋转，一边由第1辊将按压在所述基板的外周侧面的所述遮蔽胶带沿该遮蔽胶带的长度方向折弯，且由所述第1辊将所述遮蔽胶带的折弯部分贴附到所述基板的周缘部的上表面；

一边使所述基板旋转，一边由第2辊将按压在所述基板的外周侧面的所述遮蔽胶带沿该遮蔽胶带的长度方向折弯，且由所述第2辊将所述遮蔽胶带的折弯部分贴附到所述基板的周缘部的下表面，

通过移动机构使所述第1辊及所述第2辊将所述遮蔽胶带按压到所述基板的周缘部的按压力变动。

11.如权利要求10所述的胶带贴附方法，其特征在于，

在所述基板旋转一次的期间，使所述第1辊及所述第2辊将所述遮蔽胶带按压到所述基板的周缘部的按压力周期性变动。

12.如权利要求10所述的胶带贴附方法，其特征在于，还包含这样的工序：在使所述基板旋转前，对所述遮蔽胶带的始端进行保持并将该始端贴附到所述基板的外周侧面。