[发明专利]镁元素掺杂氧化硅溶胶复合磨粒、抛光液及其制备方法有效
申请号: | 201510276373.6 | 申请日: | 2015-05-26 |
公开(公告)号: | CN104877633A | 公开(公告)日: | 2015-09-02 |
发明(设计)人: | 雷红;陈入领;马盼;顾倩;仝开宇;黄丽琴;张佰春 | 申请(专利权)人: | 上海大学 |
主分类号: | C09K3/14 | 分类号: | C09K3/14;C09G1/02 |
代理公司: | 上海上大专利事务所(普通合伙) 31205 | 代理人: | 顾勇华 |
地址: | 200444*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种镁掺杂二氧化硅溶胶的复合磨粒、抛光液组合物及其制备方法。该复合磨粒的制备方法为:质量分数为1.1wt%的硝酸镁溶液和2.5wt%的硅酸溶液按质量比1:1混合,通过共沉淀法沉淀在二氧化硅晶种上。溶胶中的复合颗粒呈均匀球形,氢氧化镁相对氧化硅的掺杂量为0.1wt%-5wt%。采用本发明的复合磨粒制备抛光液。镁元素以氢氧化镁形式掺杂入二氧化硅颗粒,在抛光过程中可以和蓝宝石表面层发生化学反应,提高了抛光速率。溶胶中的复合磨粒呈现均匀球形,球形结构可以减小抛光过程中对蓝宝石基片的划削,保持表面的光滑性。因而,采用本发明提供的抛光液对蓝宝石基片进行抛光,可以有效提高蓝宝石基片的去除率,并降低蓝宝石表面的粗糙度。 | ||
搜索关键词: | 元素 掺杂 氧化 硅溶胶 复合 抛光 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种镁元素掺杂氧化硅溶胶的复合磨粒,其特征在于具有如下组成:a.镁元素化合物(硝酸镁)0.1‑5 wt.%;b.氧化硅溶胶99.9‑95 wt.%。
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