[发明专利]镁元素掺杂氧化硅溶胶复合磨粒、抛光液及其制备方法

权利要求书

1.一种镁元素掺杂氧化硅溶胶的复合磨粒，其特征在于具有如下组成：

a.镁元素化合物（硝酸镁）0.1-5 wt.%；

b.氧化硅溶胶99.9-95 wt.%。

2.一种镁元素掺杂氧化硅溶胶复合磨粒的制备方法，其特征在于具有如下的过程和步骤：

a. 先用阳离子交换法制备pH值为2.5，质量分数为2.5 %的硅酸，

b. 在100 ℃搅拌条件下，将质量分数为2.5 %的硅酸、质量分数为1.1 %的Mg(NO₃)₂溶液和质量分数为1 %氢氧化钠分别加入750g质量分数为10 %的二氧化硅晶种中，

氢氧化钠控制整个溶胶体系pH值保持在10.5，控制硝酸镁和硅酸混合物的滴加速度保持溶胶体系中蒸发速度和滴加速度相平衡，所述的硅酸溶液与所述的硝酸镁溶液两者的质量比为1:1，

c. 通过滴加不同量的硝酸镁溶液，制得镁掺杂量为0.5 wt%，1.0 wt%，1.5 wt%的复合颗粒溶胶体系，即一种镁元素掺杂氧化硅溶胶复合磨粒。

3.一种抛光液组合物，其特征在于具有以下的组成：

镁掺杂氧化硅复合磨粒                                         10-10.5%

分散剂三聚磷酸钠                                                  0.2-3%

表面活性剂十二烷基苯磺酸钠                          0.01-1%，

去离子水                                                                  余量；

以上各组成的质量百分含量之和为100 wt %。

4.一种抛光液组合物的制备方法，其特征在于具有以下的过程和步骤：

a. 上述镁元素掺杂氧化硅溶胶复合磨粒溶液用氢氧化钠调节pH值到10.5；

b. 通过350目的滤筛，除去大颗粒；

c．加入0.2-3%分散剂三聚磷酸钠、0.01-1%表面活性剂十二烷基苯磺酸钠，均匀混合即得抛光液组合物。