[发明专利]使用有机薄膜形成用固体物的有机薄膜叠层体制造方法

摘要

在低级醇类溶剂中，在反应液中浓度为0.5～5质量％的水、和酸的存在下，使式(I)所示的至少1种有机金属化合物水解和/或缩合，制造有机薄膜形成用固体物或油状物。在有机溶剂中溶解所得到的固体物或油状物，使基板接触所得到的溶液，能够在基板上形成高功能的有机薄膜，R¹_nMX_m-n   (I)。

主权项

一种有机薄膜叠层板的制造方法，其特征在于，包括：工序(A)：在包含选自脂肪族醚类溶剂和脂肪族酮类溶剂中的至少1种且不包含低级醇类溶剂的溶剂中，相对于1摩尔的式(I)所示的有机金属化合物，在0.1摩尔～20摩尔的水、和酸的存在下，在室温，使式(I)所示的至少1种有机金属化合物水解和/或缩合的工序，R¹_nMX_m‑n   (I)式中，R¹表示CH₃(CH₂)₉‑、CH₃(CH₂)₁₀‑、CH₃(CH₂)₁₁‑、CH₃(CH₂)₁₂‑、CH₃(CH₂)₁₃‑、CH₃(CH₂)₁₄‑、CH₃(CH₂)₁₅‑、CH₃(CH₂)₁₆‑、CH₃(CH₂)₁₇‑、CH₃(CH₂)₁₈‑、CH₃(CH₂)₁₉‑、CH₃(CH₂)₂₀‑、CH₃(CH₂)₂₁‑、CH₃(CH₂)₂₂‑、CH₃(CH₂)₂₃‑、CH₃(CH₂)₂₄‑、CH₃(CH₂)₂₅‑、CF₃(CH₂)₂‑、CF₃(CF₂)₃(CH₂)₂‑、CF₃(CF₂)₅(CH₂)₂‑、CF₃(CF₂)₇(CH₂)₂‑、或CF₃(CF₂)₇(CH₂)₂‑，M表示选自Si、Ge、Sn、Ti和Zr中的至少1种金属原子，X表示羟基或水解性基团，n表示1～(m‑1)中的任意整数，m表示M的化合价，n为2以上时，R¹可以相同或不同，(m‑n)为2以上时，X既可以相同，也可以不同；工序(B)：浓缩干燥固化工序(A)的反应液，得到固体成分的工序；工序(C)：将在工序(B)得到的固体物与选自烃类溶剂、氟类溶剂和硅类溶剂中的至少1种溶剂混合，根据需要，除去不溶成分，得到有机薄膜形成溶液的工序；工序(D)：使基板与在工序(C)得到的有机薄膜形成溶液接触，制造叠层有有机薄膜的基板的工序，所述有机薄膜为单分子膜。