[发明专利]减少聚合物产生的光刻化学品喷涂系统及控制方法

摘要

本发明公开了一种减少聚合物产生的光刻化学品喷涂系统及控制方法，所述化学品瓶的开口处通过管路依次连接排泡装置、喷涂泵、第一过滤器、第一电磁阀以及喷头以输出化学品，在现有的管路基础上设有一回路，回路用于将管路中的化学品输送至所述化学品瓶内，从而形成化学品的循环系统。本发明提供的减少聚合物产生的光刻化学品喷涂系统及控制方法，在现有的光刻化学品喷涂系统中增加了回路，通过通过控制第一电磁阀和第二电磁阀的启闭，使化学品瓶中化学品在喷涂状态和循环状态中切换，避免了化学品在静置的状态下产生大量的大分子聚合物，减少光刻工艺缺陷，提高产品良率。

主权项

1.一种减少聚合物产生的光刻化学品喷涂系统，包括用于存储化学品的化学品瓶，其特征在于，所述化学品瓶的开口处通过管路依次连接排泡装置、喷涂泵、第一过滤器、第一电磁阀以及喷头以输出化学品，所述化学品瓶的开口处还连接一回路与所述管路连通，所述回路用于将管路中的化学品输送至所述化学品瓶内；所述回路的一端与所述管路连通，其另一端连通至所述第一过滤器和第一电磁阀之间的管路上，所述回路上依次设有第二过滤器、压力泵以及第二电磁阀，所述第二过滤器用于过滤出聚合物，所述压力泵为化学品的循环提供动力，所述第二电磁阀用于控制所述回路的启闭；当化学品瓶内具有薄膜塑料层内胆时，所述回路的一端直接和与喷头连通的所述管路连通，其另一端连通至所述第一过滤器和第一电磁阀之间的管路上，化学品瓶中化学品的循环不受塑料内胆的影响；其中，通过控制第一电磁阀和第二电磁阀的启闭，以使化学品瓶中的化学品由管路输送至喷头，或使化学品瓶中的化学品由管路输送至回路中再由管路输出，以形成循环系统。