[发明专利]减少聚合物产生的光刻化学品喷涂系统及控制方法

权利要求书

1.一种减少聚合物产生的光刻化学品喷涂系统，包括用于存储化学品的化学品瓶，其特征在于，

所述化学品瓶的开口处通过管路依次连接排泡装置、喷涂泵、第一过滤器、第一电磁阀以及喷头以输出化学品，所述化学品瓶的开口处还连接一回路与所述管路连通，所述回路用于将管路中的化学品输送至所述化学品瓶内；所述回路的一端与所述管路连通，其另一端连通至所述第一过滤器和第一电磁阀之间的管路上，所述回路上依次设有第二过滤器、压力泵以及第二电磁阀，所述第二过滤器用于过滤出聚合物，所述压力泵为化学品的循环提供动力，所述第二电磁阀用于控制所述回路的启闭；当化学品瓶内具有薄膜塑料层内胆时，所述回路的一端直接和与喷头连通的所述管路连通，其另一端连通至所述第一过滤器和第一电磁阀之间的管路上，化学品瓶中化学品的循环不受塑料内胆的影响；其中，

通过控制第一电磁阀和第二电磁阀的启闭，以使化学品瓶中的化学品由管路输送至喷头，或使化学品瓶中的化学品由管路输送至回路中再由管路输出，以形成循环系统。

2.根据权利要求1所述的减少聚合物产生的光刻化学品喷涂系统，其特征在于，所述回路上还设有第三电磁阀，所述第三电磁阀设于所述化学品瓶和第二过滤器之间，用于控制所述回路的启闭。

3.根据权利要求1所述的减少聚合物产生的光刻化学品喷涂系统，其特征在于，所述压力泵的压力在10～100Kpa之间。

4.根据权利要求1所述的减少聚合物产生的光刻化学品喷涂系统，其特征在于，所述压力泵的启闭状态与所述第二电磁阀的启闭状态一致。

5.一种基于权利要求1-4任一项所述的减少聚合物产生的光刻化学品喷涂系统的控制方法，其特征在于，所述控制方法在喷涂状态和循环状态中切换，在喷涂状态时，所述第一电磁阀开启、第二电磁阀关闭，喷涂泵保持工作状态，压力泵处于关闭状态，使所述化学品瓶中化学品由管路输出至所述喷头；在循环状态时，关闭所述第一电磁阀，打开所述第二电磁阀，喷涂泵和压力泵都处于工作状态，针对化学品瓶内具有薄膜塑料层内胆时，所述回路的一端直接和与喷嘴连通的所述管路连通，其另一端连通至所述第一过滤器和第一电磁阀之间的管路上，使所述化学品瓶中化学品由管路输出至回路中并且经回路输送至管路中，再经管路进入至所述化学品瓶中，再由所述管路输出，以形成化学品循环系统。

6.根据权利要求5所述的控制方法，其特征在于，所述第三电磁阀与所述第二电磁阀处于相同的启闭状态。

7.根据权利要求5所述的控制方法，其特征在于，所述化学品瓶中的化学品为光刻胶或抗反射材料。