[发明专利]一种利用多晶硅副产物制备氯代乙硅烷的方法

摘要

本发明涉及一种利用多晶硅副产物制备氯代乙硅烷的方法，其包括以下步骤1、将多晶硅生产过程中副产的含有三氯化铝的高沸物保温形成结晶物并分离出结晶物；2、向步骤1中去除了结晶物的高沸物中加入助剂形成混合体系；3、加热使步骤2中的混合体系的温度升至30℃～120℃并保温形成含有不挥发的铝化合物的混合体系；4、将步骤3中的混合体系在常压或绝对压力小于0.2MPa的下蒸馏得到不含三氯化铝的混合氯代乙硅烷；5、将步骤4得到的混合氯代乙硅烷精馏得到单组分的氯代乙硅烷。本发明具有以下效果1、高效的去除高沸物中的金属氯化物；2、选用光氯化方式，在液相进行氯化，可以使过程更为安全。

主权项

一种利用多晶硅副产物制备氯代乙硅烷的方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)、将100份多晶硅生产过程中副产的含有三氯化铝的高沸物在－5℃～－50℃下保温10～80小时形成结晶物，通过精密过滤的方式分离出结晶物；(2)、向步骤(1)中去除了结晶物的高沸物中加入0.01～0.1份N'‑[5‑[[4‑[[5‑(乙酰羟胺基)戊基]氨]‑1,4‑二氧丁基]羟胺]戊基]‑N‑(5‑氨基戊基)‑N‑羟基琥珀酰胺或者加入0.01～0.1份1,2‑二甲基‑3‑羟基‑4‑吡啶酮或者加入0.01～0.1份7‑碘‑8‑羟基喹啉‑5‑磺酸形成混合体系；(3)、加热使步骤(2)中的混合体系的温度升至30℃～120℃，并在30℃～120℃下保温5～10小时，形成含有不挥发的铝化合物的混合体系；(4)、将步骤(3)中的混合体系在常压或绝对压力小于0.2MPa的情况下蒸馏得到90～98份不含三氯化铝的混合氯代乙硅烷；(5)、将步骤(4)得到的混合氯代乙硅烷精馏得到单组分的氯代乙硅烷，其中：步骤(1)中精密过滤的条件为：所用精密过滤器的过滤精度为0.1～10微米；步骤(5)所述单组分的氯代乙硅烷包括六氯乙硅烷、五氯乙硅烷、四氯乙硅烷和三氯乙硅烷。