[发明专利]一种利用多晶硅副产物制备氯代乙硅烷的方法

权利要求书

1.一种利用多晶硅副产物制备氯代乙硅烷的方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)、将100份多晶硅生产过程中副产的含有三氯化铝的高沸物在－5℃～－50℃下保温10～80小时形成结晶物，通过精密过滤的方式分离出结晶物；

(2)、向步骤(1)中去除了结晶物的高沸物中加入0.01～0.1份N'-[5-[[4-[[5-(乙酰羟胺基)戊基]氨]-1,4-二氧丁基]羟胺]戊基]-N-(5-氨基戊基)-N-羟基琥珀酰胺或者加入0.01～0.1份1,2-二甲基-3-羟基-4-吡啶酮或者加入0.01～0.1份7-碘-8-羟基喹啉-5-磺酸形成混合体系；

(3)、加热使步骤(2)中的混合体系的温度升至30℃～120℃，并在30℃～120℃下保温5～10小时，形成含有不挥发的铝化合物的混合体系；

(4)、将步骤(3)中的混合体系在常压或绝对压力小于0.2MPa的情况下蒸馏得到90～98份不含三氯化铝的混合氯代乙硅烷；

(5)、将步骤(4)得到的混合氯代乙硅烷精馏得到单组分的氯代乙硅烷，其中：

步骤(1)中精密过滤的条件为：所用精密过滤器的过滤精度为0.1～10微米；

步骤(5)所述单组分的氯代乙硅烷包括六氯乙硅烷、五氯乙硅烷、四氯乙硅烷和三氯乙硅烷。

2.一种利用多晶硅副产物制备氯代乙硅烷的方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)、将100份多晶硅生产过程中副产的含有三氯化铝的高沸物在－5℃～－50℃下保温10～80小时形成结晶物，通过精密过滤的方式分离出结晶物；

(2)、向步骤(1)中去除了结晶物的高沸物中加入0.01～0.1份N'-[5-[[4-[[5-(乙酰羟胺基)戊基]氨]-1,4-二氧丁基]羟胺]戊基]-N-(5-氨基戊基)-N-羟基琥珀酰胺或者加入0.01～0.1份1,2-二甲基-3-羟基-4-吡啶酮或者加入0.01～0.1份7-碘-8-羟基喹啉-5-磺酸形成混合体系；

(3)、加热使步骤(2)中的混合体系的温度升至30℃～120℃，并在30℃～120℃下保温5～10小时形成含有不挥发的铝化合物的混合体系；

(4)、将步骤(3)中的混合体系在常压或绝对压力小于0.2MPa的情况下蒸馏得到90～98份不含三氯化铝的混合氯代乙硅烷；

(5)、将步骤(4)中的混合氯代乙硅烷在光氯化反应器中进行氯化得到中间产物，氯化的条件为：氯气通入到混合氯代乙硅烷液相中，通入氯气质量不高于步骤(4)所得混合氯代乙硅烷质量的50％，使用254nm光线作为光源，反应温度控制在－10℃～0℃；

(6)、将步骤(5)得到的中间产物精馏得到单组分的氯代乙硅烷，其中：

步骤(6)所述单组分的氯代乙硅烷包括六氯乙硅烷、五氯乙硅烷、四氯乙硅烷和三氯乙硅烷；

步骤(1)中精密过滤的条件为：所用精密过滤器的过滤精度为0.1～10微米。