[发明专利]大尺寸蓝宝石衬底片表面的湿法处理方法

摘要

本发明公开了一种大尺寸蓝宝石衬底片表面的湿法处理方法，属于蓝宝石加工技术领域。它包括以下步骤：1)晶体切割，选择合适的晶棒，切割制成若干蓝宝石毛坯；2）双面粗磨；3）研磨，将所述蓝宝石毛坯制成蓝宝石晶片；4）湿法蚀刻去损伤；5）化学机械抛光；6）兆声波清洗；7）成品，所述步骤5为将所述蓝宝石晶片放入耐热、耐酸的恒温容器中，加入230℃的蚀刻液，浸泡15min,所述蚀刻液的组分及百分含量为硫酸46%、磷酸14%、氯化钠5%、余量为纯水。本发明可有效去除研磨抛光后出现的表面刮伤，获得晶格完整的衬底片表面，安全性高、生产可控性好，制备的产品的品质优良，均匀性好、良率高。

主权项

一种大尺寸蓝宝石衬底片表面的湿法处理方法，包括以下步骤：1)晶体切割，选择合适的晶棒，切割制成若干蓝宝石毛坯；2）双面粗磨；3）研磨，将所述蓝宝石毛坯制成蓝宝石晶片；4）湿法蚀刻去损伤；5）化学机械抛光；6）兆声波清洗；7）成品，其特征在于，所述步骤5为将所述蓝宝石晶片放入耐热、耐酸的恒温容器中，加入230℃的蚀刻液，浸泡15min, 所述蚀刻液的组分及百分含量为硫酸46%、磷酸14%、氯化钠5%、余量为纯水。