[发明专利]大尺寸蓝宝石衬底片表面的湿法处理方法

权利要求书

1.一种大尺寸蓝宝石衬底片表面的湿法处理方法，包括以下步骤：1)晶体切割，选择合适的晶棒，切割制成若干蓝宝石毛坯；2）双面粗磨；3）研磨，将所述蓝宝石毛坯制成蓝宝石晶片；4）湿法蚀刻去损伤；5）化学机械抛光；6）兆声波清洗；7）成品，其特征在于，所述步骤5为将所述蓝宝石晶片放入耐热、耐酸的恒温容器中，加入230℃的蚀刻液，浸泡15min, 所述蚀刻液的组分及百分含量为硫酸46%、磷酸14%、氯化钠5%、余量为纯水。

2.如权利要求1所述的大尺寸蓝宝石衬底片表面的湿法处理方法，其特征在于，所述步骤1包括：提供多线切割机、切割线和切割液，选用合适晶棒，切去晶颈，将晶棒固定于旋转装夹装置上，利用上下移动的所述多线切割机，所述多线切割机采用0.8-1.5mm槽距的导轮、直径为250um的金刚石线、0.2mm/min的台速和500m/min的线速，对晶棒进行切片，得到若干尺寸为4-6英寸的所述蓝宝石毛坯。

3.如权利要求2所述的大尺寸蓝宝石衬底片表面的湿法处理方法，其特征在于：所述切割液的组分及百分含量为聚乙二醇34%、丙三醇嵌段聚醚15%、油酸三乙醇胺14%、甲基苯并三氮唑7%、聚硅氧烷消泡剂0.1%、余量为水。

4.如权利要求2所述的大尺寸蓝宝石衬底片表面的湿法处理方法，其特征在于，所述步骤2的具体步骤为：采用双面粗磨机，用碳化硼研磨液对所述蓝宝石毛坯进行粗磨。

5.如权利要求4所述的大尺寸蓝宝石衬底片表面的湿法处理方法，其特征在于，所述步骤2与步骤3之间还设有倒角工序，所述倒角工序包括：将经过所述步骤2处理的所述蓝宝石毛坯置于CNC机台夹具上，选取800-1000目、45°金刚石倒角磨头，设定转速为700r/min，进给量为0.02-0.05mm/min，倒角量为0.1mm，倒角时间为7分钟，制成蓝宝石衬底片半成品。

6.如权利要求5所述的大尺寸蓝宝石衬底片表面的湿法处理方法，其特征在于，所述步骤3的具体步骤为：将所述蓝宝石衬底片半成品进行清洗，将清洗干净后的所述蓝宝石衬底片半成品按顺序摆放入研磨游星轮，制成所述蓝宝石晶片。