[发明专利]全自动进出料设备及其控制方法有效
| 申请号: | 201510165377.7 | 申请日: | 2015-04-09 |
| 公开(公告)号: | CN105321860B | 公开(公告)日: | 2018-05-25 |
| 发明(设计)人: | 范维如;林宏毅;廖惇材;刘景男 | 申请(专利权)人: | 旺矽科技股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/66 |
| 代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 马雯雯;臧建明 |
| 地址: | 中国台湾新*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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| 摘要: | 本发明提供一种全自动进出料设备及其控制方法。一种全自动进出料设备包括物料进出平台、滑轨、机械手臂以及设置于滑轨的旁侧的测试机台;物料进出平台适于送出或回收工作物件,其中工作物件包括载体以及位于载体上的多个待测物,且载体具有辨识码;在物料进出平台的辨识单元辨识完载体的辨识码后,物料进出平台的控制单元驱动机械手臂自物料进出平台取出工作物件,并在机械手臂沿滑轨移动至对应的测试机台时将工作物件置放于其内。本发明提供一种全自动进出料设备及其控制方法,有助于提高测试与分选发光二极管晶粒的效率与可靠度。 | ||
| 搜索关键词: | 全自动进出 工作物件 测试机台 机械手臂 辨识码 滑轨 发光二极管晶粒 辨识单元 滑轨移动 驱动机械 待测物 可靠度 辨识 分选 送出 置放 手臂 取出 测试 回收 | ||
【主权项】:
1.一种全自动进出料设备,其特征在于,包括:物料进出平台,适于送出或回收多个工作物件,其中各所述工作物件包括载体以及位于所述载体上的多个待测物,且所述载体具有辨识码,所述物料进出平台包括:辨识单元,用以辨识所述载体的所述辨识码;以及控制单元,电性耦接于所述辨识单元;滑轨,设置于所述物料进出平台的旁侧;机械手臂,可移动地设置于所述滑轨上,其中所述机械手臂电性耦接于所述控制单元;至少二个测试机台,设置于所述滑轨的旁侧,在所述辨识单元辨识完所述载体的所述辨识码后,所述控制单元驱动所述机械手臂自所述物料进出平台取出所述工作物件,所述机械手臂沿所述滑轨移动至对应的所述测试机台,以将所述工作物件置放于对应的所述测试机台;以及数据存储装置,具有第一收发单元,其中所述物料进出平台还包括电性耦接于所述控制单元的第二收发单元,各所述测试机台具有第三收发单元,各所述第三收发单元分别电性耦接于所述第一收发单元与所述第二收发单元,其中所述多个待测物经对应的所述测试机台测试后的测试结果通过对应的所述第三收发单元传送至所述第一收发单元,以存储于所述数据存储装置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





