[发明专利]全自动进出料设备及其控制方法有效
| 申请号: | 201510165377.7 | 申请日: | 2015-04-09 |
| 公开(公告)号: | CN105321860B | 公开(公告)日: | 2018-05-25 |
| 发明(设计)人: | 范维如;林宏毅;廖惇材;刘景男 | 申请(专利权)人: | 旺矽科技股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/66 |
| 代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 马雯雯;臧建明 |
| 地址: | 中国台湾新*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 全自动进出 工作物件 测试机台 机械手臂 辨识码 滑轨 发光二极管晶粒 辨识单元 滑轨移动 驱动机械 待测物 可靠度 辨识 分选 送出 置放 手臂 取出 测试 回收 | ||
1.一种全自动进出料设备,其特征在于,包括:
物料进出平台,适于送出或回收多个工作物件,其中各所述工作物件包括载体以及位于所述载体上的多个待测物,且所述载体具有辨识码,所述物料进出平台包括:
辨识单元,用以辨识所述载体的所述辨识码;以及
控制单元,电性耦接于所述辨识单元;
滑轨,设置于所述物料进出平台的旁侧;
机械手臂,可移动地设置于所述滑轨上,其中所述机械手臂电性耦接于所述控制单元;
至少二个测试机台,设置于所述滑轨的旁侧,在所述辨识单元辨识完所述载体的所述辨识码后,所述控制单元驱动所述机械手臂自所述物料进出平台取出所述工作物件,所述机械手臂沿所述滑轨移动至对应的所述测试机台,以将所述工作物件置放于对应的所述测试机台;以及
数据存储装置,具有第一收发单元,其中所述物料进出平台还包括电性耦接于所述控制单元的第二收发单元,各所述测试机台具有第三收发单元,各所述第三收发单元分别电性耦接于所述第一收发单元与所述第二收发单元,其中所述多个待测物经对应的所述测试机台测试后的测试结果通过对应的所述第三收发单元传送至所述第一收发单元,以存储于所述数据存储装置。
2.根据权利要求1所述的全自动进出料设备,其中存储于所述数据存储装置的测试结果适于通过所述第一收发单元传送至其他对应的所述测试机台的所述第三收发单元。
3.根据权利要求1所述的全自动进出料设备,其特征在于,还包括:
至少一分选机台,设置于所述滑轨的旁侧,所述控制单元适于驱动所述机械手臂沿所述滑轨移动至所述分选机台,以将所述工作物件置放于所述分选机台,其中各所述分选机台具有第四收发单元,各所述第四收发单元分别电性耦接于所述第一收发单元与所述第二收发单元,存储于所述数据存储装置的测试结果适于通过所述第一收发单元传送至其他对应的所述测试机台的所述第三收发单元,且存储于所述数据存储装置的测试结果适于通过所述第一收发单元传送至对应的所述分选机台的所述第四收发单元。
4.根据权利要求3所述的全自动进出料设备,其特征在于,各所述分选机台具有不同编码。
5.根据权利要求1所述的全自动进出料设备,其特征在于,所述至少二个测试机台包括光电测试机台、外观检查机台或上述机台的组合。
6.根据权利要求1所述的全自动进出料设备,其特征在于,各所述工作物件依据其种类及对应的测试流程通过所述机械手臂输送至所述至少二个测试机台的至少其中之一进行测试。
7.根据权利要求1所述的全自动进出料设备,其特征在于,各所述测试机台具有不同编码。
8.根据权利要求1所述的全自动进出料设备,其特征在于,在所述多个待测物经对应的所述测试机台测试后,所述机械手臂自所述测试机台取出所述工作物件,并回收至所述物料进出平台或移送至其他对应的所述测试机台。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





