[发明专利]物理量传感器、高度计、电子设备以及移动体在审
| 申请号： | 201510116746.3 | 申请日： | 2015-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN104931187A | 公开（公告）日： | 2015-09-23 |
| 发明（设计）人： | 矢岛有继 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01L7/08 | 分类号： | G01L7/08;G01C5/06 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 物理量传感器、高度计、电子设备以及移动体。提供具有优异的检测精度的物理量传感器、具有该物理量传感器且可靠性高的高度计、电子设备以及移动体。物理量传感器(1)具有：膜片，其能够挠曲变形(24)；周围壁部(26)，其配置在膜片(24)的周围，沿远离膜片(24)的方向而增加厚度；挠曲量传感器(3)，其检测膜片(24)的挠曲量；以及温度传感器(6)，其配置于周围壁部(26)。 | ||
| 搜索关键词： | 物理量 传感器 高度计 电子设备 以及 移动 | ||
【主权项】：
一种物理量传感器，其特征在于，具有：膜片，其能够挠曲变形；周围壁部，其配置在所述膜片的周围，该周围壁部的厚度沿远离所述膜片的方向而增加；挠曲量检测元件，其配置于所述膜片，检测所述膜片的挠曲量；以及温度检测元件，其配置于所述周围壁部。
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