[发明专利]物理量传感器、高度计、电子设备以及移动体在审
| 申请号： | 201510116746.3 | 申请日： | 2015-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN104931187A | 公开（公告）日： | 2015-09-23 |
| 发明（设计）人： | 矢岛有继 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01L7/08 | 分类号： | G01L7/08;G01C5/06 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 物理量 传感器 高度计 电子设备 以及 移动 | ||
1.一种物理量传感器，其特征在于，具有：
膜片，其能够挠曲变形；
周围壁部，其配置在所述膜片的周围，该周围壁部的厚度沿远离所述膜片的方向而增加；
挠曲量检测元件，其配置于所述膜片，检测所述膜片的挠曲量；以及
温度检测元件，其配置于所述周围壁部。
2.根据权利要求1所述的物理量传感器，其中，
所述周围壁部的厚度沿远离所述膜片的方向而连续增加。
3.根据权利要求1所述的物理量传感器，其中，
所述温度检测元件沿着所述膜片的周围进行配置。
4.根据权利要求1所述的物理量传感器，其中，
在俯视时，所述膜片呈矩形，
所述温度检测元件在俯视时配置在所述膜片的对角线的延长线上。
5.根据权利要求4所述的物理量传感器，其中，
所述温度检测元件具有沿着所述膜片的周围弯曲的部分。
6.根据权利要求1～5中的任意一项所述的物理量传感器，其中，
所述温度检测元件配置有多个。
7.根据权利要求1所述的物理量传感器，其中，
在俯视时所述膜片、所述温度检测元件以及压力基准室重合。
8.根据权利要求1所述的物理量传感器，其中，
在俯视时，所述膜片与压力基准室重合，所述温度检测元件与所述压力基准室错开。
9.根据权利要求1所述的物理量传感器，其中，
所述挠曲量检测元件是压电电阻元件。
10.根据权利要求1所述的物理量传感器，其中，
所述温度检测元件是压电电阻元件。
11.根据权利要求1所述的物理量传感器，其中，
该物理量传感器是检测压力的压力传感器。
12.一种高度计，其特征在于，该高度计具有权利要求1所述的物理量传感器。
13.一种电子设备，其特征在于，该电子设备具有权利要求1所述的物理量传感器。
14.一种移动体，其特征在于，该移动体具有权利要求1所述的物理量传感器。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于精工爱普生株式会社，未经精工爱普生株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201510116746.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
