[发明专利]基板载置装置和基板处理装置

摘要

本发明提供抑制支承销的设置数量的增加并且能够将薄且大型的基板载置在载置台上的基板载置装置等。设置于基板载置装置的载置台(3)具有能够载置具有0.5毫米以下的厚度尺寸的基板(F)的载置面(30)，从下表面侧支承基板(F)的多个支承销(4)设置成在上下方向上贯通载置台(3)，升降机构(45～47)使多个支承销(4)在支承基板(F)的支承位置和下方侧的退避位置之间升降。在多个支承销(4)中的至少一个的前端部设置有从下表面侧支承基板(F)时产生弹性变形而与基板(F)的接触面积变大的弹性部件(42)。

主权项

1.一种基板载置装置，其特征在于，包括：载置台，其具有用于载置具有0.5毫米以下厚度尺寸的基板的载置面；多个支承销，其设置成在上下方向上贯通所述载置台，从下表面侧支承基板；和升降机构，其使所述多个支承销在所述载置面的上方侧支承基板的支承位置和该载置面的下方侧的退避位置之间升降，所述多个支承销的至少一个，在前端部设置有从下表面侧支承基板时产生弹性变形而与基板的接触面积变大的弹性部件，与设置在支承所述基板的周缘部侧的支承销的前端部的弹性部件的硬度相比，设置在支承该基板的中央部侧的支承销的前端部的弹性部件的硬度较低，以使得所述基板在中央部侧比周缘部侧向下方侧弯曲的状态下支承基板。