[发明专利]电子部件搬运装置以及电子部件检查装置在审
申请号: | 201510091746.2 | 申请日: | 2015-02-28 |
公开(公告)号: | CN105277869A | 公开(公告)日: | 2016-01-27 |
发明(设计)人: | 桐原大辅;前田政己 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28;G01R1/02 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 舒艳君;李洋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及电子部件搬运装置以及电子部件检查装置。电子部件检查装置具备:被配置IC器件等电子部件的电子部件配置部;和被配置在电子部件配置部的垂直上方,向电子部件配置部供给制冷剂的冷却单元。而且,优选冷却单元被配置成其重心位于俯视到检测器配置空间的区域以外的区域。 | ||
搜索关键词: | 电子 部件 搬运 装置 以及 检查 | ||
【主权项】:
一种电子部件搬运装置,其特征在于,具备:被配置电子部件的电子部件配置部;和配置在所述电子部件配置部的垂直上方,向所述电子部件配置部供给制冷剂的制冷剂供给装置。
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