[发明专利]电子部件搬运装置以及电子部件检查装置在审
| 申请号： | 201510091746.2 | 申请日： | 2015-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN105277869A | 公开（公告）日： | 2016-01-27 |
| 发明（设计）人： | 桐原大辅;前田政己 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 舒艳君;李洋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电子 部件 搬运 装置 以及 检查 | ||
1.一种电子部件搬运装置，其特征在于，具备：
被配置电子部件的电子部件配置部；和
配置在所述电子部件配置部的垂直上方，向所述电子部件配置部供给制冷剂的制冷剂供给装置。
2.根据权利要求1所述的电子部件搬运装置，其特征在于，具备：
能够配置对所述电子部件进行检查的检查部的检查部配置部；和
被配置与所述检查部连接的检测器的检测器配置空间，
从所述垂直上方俯视的所述制冷剂供给装置的重心的位置处于从所述垂直上方俯视到所述检测器配置空间的区域以外的区域。
3.根据权利要求1或2所述的电子部件搬运装置，其特征在于，
所述制冷剂供给装置配置在搬运所述电子部件的路线的垂直上方。
4.根据权利要求1至3中任意一项所述的电子部件搬运装置，其特征在于，
所述制冷剂供给装置与所述电子部件配置部通过流通所述制冷剂的第一配管连接，所述第一配管被第二配管覆盖，所述第一配管与所述第二配管之间的至少一部分被填满预先决定的湿度的气体。
5.根据权利要求1至4中任意一项所述的电子部件搬运装置，其特征在于，
在所述制冷剂供给装置的垂直下方设有对来自所述制冷剂供给装置的制冷剂的漏液进行承接的漏液承接部、和使所述漏液从所述漏液承接部向垂直下方流动的配管。
6.根据权利要求1至5中任意一项所述的电子部件搬运装置，其特征在于，
在比所述电子部件配置部靠垂直下方处设有小脚轮。
7.一种电子部件检查装置，其特征在于，具备：
被配置电子部件的电子部件配置部；
被配置在所述电子部件配置部的垂直上方，向所述电子部件配置部供给制冷剂的制冷剂供给装置；和
对所述电子部件进行检查的检查部。
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