[发明专利]电子部件搬运装置以及电子部件检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及电子部件搬运装置以及电子部件检查装置。

背景技术

以往，公知有一种例如对IC器件等电子部件的电特性进行检查的电子部件检查装置，在该电子部件检查装置中组装有用于将IC器件搬运至检查部的保持部的电子部件搬运装置。在检查IC器件时，IC器件被配置于保持部，使设于保持部的多个探针与IC器件的各端子接触。

这样的IC器件的检查有时将IC器件冷却至规定温度来进行。专利文献1中记载了一种构成为具有内部被设定为规定的温度的均热室以及测试室，IC芯片在测试室中进行检查的IC处理器。而且，在IC器件的冷却中使用向均热室以及测试室供给冷风的冷冻装置。冷冻装置与IC处理器独立地以与该IC处理器相邻的方式被设置于地面。

【专利文献1】日本特开2000－46904号公报

然而，在专利文献1中，例如在移动搬运IC处理器的情况下，冷冻装置也不得不一同进行搬运，导致搬运作业繁杂。另外，搬运作业在事先暂时解除将IC处理器与冷冻装置连接的配管之后进行。而且，在搬运目的地，必须再次使用配管将IC处理器与冷冻装置重新连接，导致设置作业繁杂。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种搬运作业、搬运后的设置作业容易的电子部件搬运装置以及电子部件检查装置。

本发明为了解决上述课题的至少一部分而提出，能够作为以下的方式或者应用例而实现。

[应用例1]

本发明的电子部件搬运装置的特征在于，具备：被配置电子部件的电子部件配置部；和配置在所述电子部件配置部的垂直上方，向所述电子部件配置部供给制冷剂的制冷剂供给装置。

由此，成为将制冷剂供给装置预先搭载到上方的构成，从而，可按每个制冷剂供给装置进行搬运，搬运作业变得容易。另外，即使不解除制冷剂供给装置与电子部件配置部之间的配管也能进行搬运，从而，搬运后的设置作业变得容易。

[应用例2]

在本发明的电子部件搬运装置中，优选具备：能够配置对所述电子部件进行检查的检查部的检查部配置部、和被配置与所述检查部连接的检测器的检测器配置空间，从所述垂直上方俯视的所述制冷剂供给装置的重心的位置处于从所述垂直上方俯视到所述检测器配置空间的区域以外的区域。

由此，对电子部件搬运装置而言，被搭载制冷剂供给装置之前的重心向制冷剂供给装置的重心侧移动，而与该重心同样地被配置在俯视到检测器配置空间的区域以外的区域。通过这样的配置，检查装置被稳定地设置。

[应用例3]

在本发明的电子部件搬运装置中，优选所述制冷剂供给装置配置在搬运所述电子部件的路线的垂直上方。

由此，制冷剂供给装置的正下方的空气处于被冷却而存留于下方的趋势。载置电子部件的周围也被该空气冷却，使得冷却效率提高。

[应用例4]

在本发明的电子部件搬运装置中，优选所述制冷剂供给装置与所述电子部件配置部通过流通所述制冷剂的第一配管连接，所述第一配管被第二配管覆盖，所述第一配管与所述第二配管之间的至少一部分被填满预先决定的湿度的气体。

由此，能够防止在第二配管的内侧、外侧发生结露。

[应用例5]

在本发明的电子部件搬运装置中，优选在所述制冷剂供给装置的垂直下方设有对来自所述制冷剂供给装置的制冷剂的漏液进行承接的漏液承接部、和使所述漏液从所述漏液承接部向垂直下方流动的配管。

由此，能够防止液体飞散到配设有电子部件配置部的区域。

[应用例6]

在本发明的电子部件搬运装置中，优选在比所述电子部件配置部靠垂直下方处设有小脚轮。

由此，搬运作业变得容易。

[应用例7]

本发明的电子部件检查装置的特征在于，具备：被配置电子部件的电子部件配置部；被配置在所述电子部件配置部的垂直上方，向所述电子部件配置部供给制冷剂的制冷剂供给装置；和对所述电子部件进行检查的检查部。

由此，成为预先在上方搭载了制冷剂供给装置的构成，从而，可按每个制冷剂供给装置进行搬运，搬运作业变得容易。另外，即使不解除制冷剂供给装置与电子部件配置部之间的配管也能进行搬运，从而，搬运后的设置作业变得容易。

附图说明

图1是从正面侧观察本发明的电子部件搬运装置(第一实施方式)的简要立体图。

图2是从背面侧观察本发明的电子部件搬运装置(第一实施方式)的简要立体图。

图3是表示本发明的电子部件检查装置(第一实施方式)的简要俯视图。