[发明专利]双头平面磨削方法

摘要

本发明涉及一种双头平面磨削方法和双头平面磨床，其可防止工件在交接时由于静压垫导致的工件的损伤，并且可容易地确认在静压垫侧的工件的保持。在本发明的双头平面磨削方法中，一边通过托架(7)旋转由一对静压垫(1、2)静压支持的薄板状的工件(W)，一边通过一对磨削磨石(5、6)磨削工件(W)的两面，在交接托架(7)内的工件(W)时，从一侧的静压垫(2)向工件(W)侧喷射流体，通过此时的伯努利效应所产生的负压，在一侧的静压垫(2)侧以非接触的方式吸引保持工件(W)。

主权项

1.一种双头平面磨削方法，在该方法中，根据静压液体对托架内的薄板状的工件进行静压支持，该静压液体由配置于前进保持位置的一对静压垫的凹部向包围该凹部的凸部流动，其中，一边通过上述托架旋转上述工件，一边通过一对磨削磨石磨削上述工件的两面，其特征在于，在磨削前的上述工件的送入时，将根据送入机构而吸附的上述工件插入到上述托架，与上述前进保持位置的一侧的静压垫接触，根据上述一侧的静压垫与上述送入机构，在将上述工件夹持的状态下，从上述一侧的静压垫的上述凸部所配置的喷射孔向上述工件侧喷射气体，通过此时的伯努利效应所产生的负压，在上述一侧的静压垫侧以非接触的方式吸引保持上述工件，在磨削后的上述工件的送出时，在上述工件的磨削完成后，停止上述前进保持位置的向所述的一对静压垫的静压液体的供给，根据所述的一对静压垫，通过静压液体，在夹持上述工件的状态下，从上述一侧的静压垫的上述喷射孔喷射气体，通过此时的伯努利效应所产生的负压，在上述一侧的静压垫侧以非接触的方式吸引保持上述工件，在该状态，以送出机构吸附、送出上述工件。