[发明专利]双头平面磨削方法

说明书

本发明涉及一种双头平面磨削方法和双头平面磨床，其可防止工件在交接时由于静压垫导致的工件的损伤，并且可容易地确认在静压垫侧的工件的保持。在本发明的双头平面磨削方法中，一边通过托架(7)旋转由一对静压垫(1、2)静压支持的薄板状的工件(W)，一边通过一对磨削磨石(5、6)磨削工件(W)的两面，在交接托架(7)内的工件(W)时，从一侧的静压垫(2)向工件(W)侧喷射流体，通过此时的伯努利效应所产生的负压，在一侧的静压垫(2)侧以非接触的方式吸引保持工件(W)。

技术领域

本申请涉及一种对工件进行双头平面磨削的双头平面磨削方法和双头平面磨床。

背景技术

在横型双头平面磨床中，在磨削硅晶圆等的薄板状工件的两侧面时，在通过一对静压垫从板厚方向的两侧静压支撑工件的状态下，一边通过托架使该工件旋转，一边通过一对磨削磨石将工件的两面磨削成规定的厚度。

在使用真空吸附式的送入送出机构，相对于托架而送入送出工件的场合，经过一侧的静压垫对工件的真空吸附，在送入送出机构和一侧的静压垫之间进行工件的交接(专利文献1)。

例如，在将磨削后的工件从托架向机外排出的场合，在停止来自两个静压垫的静压水的供给的同时，通过一侧的静压垫真空吸附工件，暂时将工件固定于一侧的静压垫上。接着，向托架和另一侧静压垫之间插入送出机构，通过该送出机构与一侧静压垫从两侧夹住托架内的工件，然后，在该状态下进行工件从静压垫到送出机构的交接。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：JP特开2013-215813号公报

发明内容

发明要解决的问题

在这样现有的送入送出方法中，将工件真空附着于一侧静压垫时，由于该吸附力，工件被强力按压于一侧静压垫侧上，故具有工件的被吸附面侧产生磨痕、缺陷的问题。

即使工件上产生磨痕、缺陷，如果是在工件向机器内送入时或送入之前产生的情况，则可在磨削工程中除去该磨痕、缺陷，但是如果在磨削后的工件送出时产生磨痕、缺陷，则直接导致工件中出现不合格品。

另外，在一侧的静压垫上真空吸附工件的场合，需要包含真空泵的真空管路等的设备，具有提高设备成本的问题。进一步，在工件真空吸附时具有下述危险：真空管线中混入磨削水、静压支持用的静压水，由于该磨削水、静压水导致真空管线的压力传感器或真空泵损伤或破损等，具有其维护与管理需要花费成本和时间的缺点。

作为这样的磨痕、缺陷的防止方法，可以考虑到通过调节器减弱真空吸附力，以较弱的真空吸附力吸附工件。但是，只要工件直接接触静压垫的保持面，即使减弱真空吸附力也无法完全防止工件的磨痕、缺陷。

另外，作为针对磨痕、缺陷的其它防止方法，可以考虑不使用真空吸附而利用水的表面张力。但是，在工件送入时，不仅无法使用水的表面张力，也难以确认静压垫所致的工件的吸附，为了判断工件的槽部与托架的接合部的嵌合是否成功，需要另外设置真空式的传感器。因此，虽然未采用真空吸附，但是具有无法排除真空管线的问题。

进一步地，由于无法通过静压垫吸附工件，故例如通过预先设定计时器，该计时器设定了吸附工件所需要的作业时间，通过该计时器测定作业时间，从时间上确认工件的吸附结束时间。但是，在该场合有下述问题，工件吸附的确认需要充足的时间，作业效率低下，不仅如此，由于无法直接确认工件吸附结束，缺乏可靠性。

本发明鉴于现有的问题，其目的在于提供一种双头平面磨削方法和双头平面磨床，可防止工件在交接时由于静压垫导致的工件的损伤，并且可容易地确认在静压垫侧的工件的保持，而且可降低设备成本、管理和维护成本。

解决问题用的技术方案