[发明专利]一种真空蒸镀工艺用载体及其制作方法有效
申请号: | 201510058073.0 | 申请日: | 2015-02-04 |
公开(公告)号: | CN104630715B | 公开(公告)日: | 2017-09-22 |
发明(设计)人: | 何丽蓉;许波连;祁义军;张黎斌 | 申请(专利权)人: | 苏州东杏表面技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;B22F3/16 |
代理公司: | 无锡中瑞知识产权代理有限公司32259 | 代理人: | 金星 |
地址: | 215612 江苏省苏州市张家港市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种真空蒸镀工艺用载体,该载体为柱状结构,且该载体的横截面为多角星形图案。本发明还公开了该载体的制作方法,该载体可以为钢丝绒压制而成或为金属砂芯烧结而成。该制作方法简单使用,可批量制作载体。该载体能使蒸镀组分扩散的范围变大,蒸镀组份能很均匀地分布于蒸镀仓内,使蒸镀仓内的所有基材,都能蒸镀上均匀厚度的镀层,从而提高了蒸镀仓边缘部分的镀膜均匀性。 | ||
搜索关键词: | 一种 真空 工艺 载体 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
一种真空蒸镀工艺用载体,其特征在于:该载体为柱状结构,且该载体的横截面为多角星形图案,该载体的横截面为4‑12个角的星形图案,该载体的横截面为正多角星形。
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