[发明专利]一种真空蒸镀工艺用载体及其制作方法有效

专利信息
申请号: 201510058073.0 申请日: 2015-02-04
公开(公告)号: CN104630715B 公开(公告)日: 2017-09-22
发明(设计)人: 何丽蓉;许波连;祁义军;张黎斌 申请(专利权)人: 苏州东杏表面技术有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;B22F3/16
代理公司: 无锡中瑞知识产权代理有限公司32259 代理人: 金星
地址: 215612 江苏省苏州市张家港市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 真空 工艺 载体 及其 制作方法
【权利要求书】:

1.一种真空蒸镀工艺用载体,其特征在于:该载体为柱状结构,且该载体的横截面为多角星形图案,该载体的横截面为4-12个角的星形图案,该载体的横截面为正多角星形。

2.如权利要求1所述的一种真空蒸镀工艺用载体,其特征在于:所述载体为钢丝绒压制而成或为金属砂芯烧结而成。

3.一种真空蒸镀工艺用载体制作方法,其包括:

A、提供钢丝绒或者金属粉末作为该载体制备原料;

B、提供一个具有压制腔的坩埚和一个具有烧结腔的模具,该压制腔和烧结腔均为柱状且横截面为多角星形图案;

C、若是采用钢丝绒作为载体制备原料,将钢丝绒填入到坩埚的压制腔内,并利用压实机将钢丝绒压实;若是采用金属粉末作为载体的制备原料,则将金属粉末填入到模具的烧结腔内,并将模具放入到马弗炉中在保护气体的保护下烧结,烧结温度在550-650℃,烧结时间在9-11小时,烧结完成后冷却取出,所述金属粉末为铜粉末,所述保护气体为氮气。

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