[发明专利]一种真空蒸镀工艺用载体及其制作方法有效

专利信息
申请号: 201510058073.0 申请日: 2015-02-04
公开(公告)号: CN104630715B 公开(公告)日: 2017-09-22
发明(设计)人: 何丽蓉;许波连;祁义军;张黎斌 申请(专利权)人: 苏州东杏表面技术有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;B22F3/16
代理公司: 无锡中瑞知识产权代理有限公司32259 代理人: 金星
地址: 215612 江苏省苏州市张家港市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 真空 工艺 载体 及其 制作方法
【说明书】:

技术领域

发明涉及一种真空蒸镀工艺用载体及其制作方法。

背景技术

真空蒸镀工艺是在基材表面制备功能膜的主要方式,目前广泛应用于镜片、手机和平板电脑显示屏等的AF膜(抗指纹膜)也大多采用此工艺。AF膜的主要成分是氟取代烃基硅烷氧基类化合物,被蒸镀到基材表面后,即与基材表面的羟基发生反应,形成一层具有疏水和疏油功能的薄膜,即所谓AF膜。

目前主要的方式是将原液(氟取代烃基硅烷氧基类化合物)分散在如钢丝绒、金属砂芯或惰性氧化物载体上,在真空蒸镀设备上采用电阻加热或电子枪加热方式让AF组分蒸发出来,在基材上形成AF膜。在蒸镀过程中,无论是电阻加热还是电子枪加热,都是温度逐渐升高的过程,当达到组分挥发温度时,要求组分能够尽快脱离载体,否则AF组分会由于高温而被破坏,从而影响AF膜的性能。鉴于此,工业上通常优先选用导热性能好的载体,如钢丝绒或金属砂芯。

但目前使用的钢丝绒载体一般均采用人工制球,经压制而成。且制备的钢丝绒载体多为圆柱形,在蒸镀过程中,AF成分容易聚集在载体正上方,导致AF成分在蒸镀仓内分布不均,从而严重影响到蒸镀仓边缘部分的镀膜均匀性,大幅降低良品率。当蒸镀仓为伞状蒸镀仓时,这一问题尤为明显。工业上,为了改善这一问题,主要通过增加蒸镀载体的数量,但蒸镀载体的增加,又大幅提高了生产成本。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是:提供一种真空蒸镀工艺用载体,该载体能使蒸镀组分扩散的范围变大,从而提高了蒸镀仓边缘部分的镀膜均匀性。

本发明所要解决的另一个技术问题是:提供一种真空蒸镀工艺用载体的制作方法,该制作方法简单实用,制作出的载体方便蒸镀组份,可提高了蒸镀仓边缘部分的镀膜均匀性。

为解决上述第一个技术问题,本发明的技术方案是:一种真空蒸镀工艺用载体,该载体为柱状结构,且该载体的横截面为多角星形图案。

作为一种优选的方案,该载体的横截面为4-12个角的星形图案。

作为一种优选的方案,该载体的横截面为正多角星形。

作为一种优选的方案,所述载体为钢丝绒压制而成或为金属砂芯烧结而成。

为解决上述第二个技术问题,本发明的技术方案是:一种真空蒸镀工艺用载体制作方法,其包括:

A、提供钢丝绒或者金属粉末作为该载体制备原料;

B、提供一个具有压制腔的坩埚和一个具有烧结腔的模具,该压制腔和烧结腔均为柱状且横截面为多角星形图案;

C、若是采用钢丝绒作为载体制备原料,将钢丝绒填入到坩埚的压制腔内,并利用压实机将钢丝绒压实;若是采用金属粉末作为载体的制备原料,则将金属粉末填入到模具的烧结腔内,并将模具放入到马弗炉中在保护气体的保护下烧结,烧结温度在550-650℃,烧结时间在9-11小时,烧结完成后冷却取出;

其中,所述金属粉末为铜粉末。所述保护气体为氮气,烧结温度优选为600℃,烧结时间10小时。

采用了上述技术方案后,本发明的效果是:由于该载体为柱状结构,且该载体的横截面为多角星形图案,因此,该同等厚度的情况下,多角星形图案的横截面可以使覆盖面积更广,蒸镀组份挥发后不会集中在载体中心,因此可以顾及到蒸镀仓边缘部分,可提高了蒸镀仓边缘部分的镀膜均匀性。

而该载体的制备方法制作简单实用,可批量制作,制作出的载体可提高了蒸镀仓边缘部分的镀膜均匀性。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是本发明实施例的立体结构示意图;

图2是本发明实施例的另一个立体结构示意图;

附图中:1.载体;2.尖角。

具体实施方式

下面通过具体实施例对本发明作进一步的详细描述。

实施例1

如图1所示,一种真空蒸镀工艺用载体1,该载体1为柱状结构,且该载体1的横截面为多角星形图案,该横截面的多角星形图案一般优选为4-12个尖角2的星形图案,本实施例选用的为五角星形图案且为正五角星图案,所述载体1为钢丝绒压制而成或为金属砂芯烧结而成。

一种真空蒸镀工艺用载体1制作方法,其包括:

A、提供钢丝绒或者金属粉末作为该载体制备原料;

B、提供一个具有压制腔的坩埚和一个具有烧结腔的模具,该压制腔和烧结腔均为柱状且横截面为正五角星形图案;

C、若是采用钢丝绒作为载体制备原料,称取0.7g钢丝绒,填入到高为4mm,外接圆半径为5mm的正五角星形的坩埚中,并将其压实,即为载体一。

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