[发明专利]晶体管及其制作方法

摘要

本发明提供一种晶体管及其制作方法，该晶体管包括基板、源极、漏极、主动部、鳍状栅极以及绝缘层。源极配置于基板上。漏极配置于基板上。主动部连接源极与漏极。鳍状栅极包覆主动部。绝缘层的第一部分分隔鳍状栅极与主动部，绝缘层的第二部分分隔鳍状栅极与基板，绝缘层的第三部分分隔鳍状栅极与源极，且分隔鳍状栅极与漏极，且绝缘层的第四部分配置于鳍状栅极的背对于主动部的表面上。绝缘层为一体成型。一种晶体管的制作方法也被提出。

主权项

1.一种晶体管的制作方法，其特征在于，包括：提供基底；在该基底上形成鳍状栅极；在该鳍状栅极上覆盖绝缘层；提供基板；在该基板上形成可塑形金属氧化物层，其中该可塑形金属氧化物层为尚具可塑性的未固化阶段的金属氧化物层；将该鳍状栅极插置于该可塑形金属氧化物层中；在将该鳍状栅极插置于该可塑形金属氧化物层中之后，使该可塑形金属氧化物层固化；以及对该可塑形金属氧化物层的被该鳍状栅极暴露出的部分进行处理，以使该部分的导电性提高。