[发明专利]具有载盘冷却功能的镀膜系统

摘要

一种具有载盘冷却功能的镀膜系统，包含一包括一盘本体与一填置于盘本体中的相变化物质的载盘、一镀膜站、一回流装置及一冷却装置。镀膜站包括一入口端与一出口端，载盘能自入口端进入镀膜站中以进行一镀膜制程。回流装置包括一设置在镀膜站外的传送单元。相变化物质能自盘本体吸收一在镀膜制程中所累积的热能，以作为至少部分的相变化物质自一固态熔融成一液态时所需的潜热，且相变化物质的熔点为介于18℃至95℃间。冷却装置能自相变化物质吸收热能，以令至少部分的相变化物质自液态凝固成固态。借由载盘的改良及相变化物质本身所需的熔解潜热以提升镀膜质量，另外利用冷却装置解决镀膜系统中的散热问题。

主权项

一种具有载盘冷却功能的镀膜系统，其特征在于：该具有载盘冷却功能的镀膜系统包含：一载盘，包括一盘本体与一相变化物质，该盘本体内部形成有一填置该相变化物质的密闭空间；一镀膜站，包括一入口端与一出口端，该载盘能自该入口端进入该镀膜站中以进行一镀膜制程，并由该出口端移出该镀膜站；一回流装置，包括一设置在该镀膜站外的传送单元，该传送单元使该载盘沿一自该镀膜站的出口端朝该镀膜站的该入口端的传送路径移动；及一冷却装置，设置于该传送单元的该传送路径上；其中，该相变化物质能自该盘本体吸收一在该镀膜制程中所累积的热能，以作为至少部分的该相变化物质自一固态熔融成一液态时所需的潜热，且该相变化物质的熔点为介于18℃至95℃间；及其中，该冷却装置能自该相变化物质吸收该热能，以令至少部分的该相变化物质自该液态凝固成该固态。