[发明专利]具有载盘冷却功能的镀膜系统

权利要求书

1.一种具有载盘冷却功能的镀膜系统，其特征在于：该具有载盘冷却功能的镀膜系统包含：

一载盘，包括一盘本体与一相变化物质，该盘本体内部形成有一填置该相变化物质的密闭空间；

一镀膜站，包括一入口端与一出口端，该载盘能自该入口端进入该镀膜站中以进行一镀膜制程，并由该出口端移出该镀膜站；

一回流装置，包括一设置在该镀膜站外的传送单元，该传送单元使该载盘沿一自该镀膜站的出口端朝该镀膜站的该入口端的传送路径移动；及

一冷却装置，设置于该传送单元的该传送路径上；

其中，该相变化物质能自该盘本体吸收一在该镀膜制程中所累积的热能，以作为至少部分的该相变化物质自一固态熔融成一液态时所需的潜热，且该相变化物质的熔点为介于18℃至95℃间；及

其中，该冷却装置能自该相变化物质吸收该热能，以令至少部分的该相变化物质自该液态凝固成该固态。

2.如权利要求1所述的具有载盘冷却功能的镀膜系统，其特征在于：该相变化物质是选自一有机类材料与一无机类材料其中一者，该有机类材料是一烃类，且该烃类是选自C₁₆至C₅₀的一烷类。

3.如权利要求1所述的具有载盘冷却功能的镀膜系统，其特征在于：该盘本体的密闭空间需大于或等于该相变化物质于该液态时所占有的体积。

4.如权利要求1所述的具有载盘冷却功能的镀膜系统，其特征在于：该传送单元具有一支架及一安装于该支架的传送组件，该传送组件具有一对间隔设置的输送模块及一驱动所述输送模块的伺服马达，该传送单元利用该对输送模块承托并移动该载盘，该冷却装置位于该对输送模块间。

5.如权利要求4所述的具有载盘冷却功能的镀膜系统，其特征在于：该对输送模块为循环式输送带。

6.如权利要求4所述的具有载盘冷却功能的镀膜系统，其特征在于：该回流装置还包括一感测单元，该感测单元设置于该传送单元的支架，当该载盘被传送至位于该冷却装置上方并邻近该感测单元时，该感测单元能产生一信号控制该伺服马达停止转动，并借该冷却装置对该载盘内的相变化物质进行冷却。

7.如权利要求6所述的具有载盘冷却功能的镀膜系统，其特征在于：该冷却装置安装于该支架，并具有一散热板及一驱动该散热板上下位移的驱动件，该散热板具有一入口、一出口，及一自该入口向该出口延伸并用以供一冷却流体流动的冷却通道，当该载盘被传送至位于该散热板上方时，该驱动件驱动该散热板朝上位移以接触该载盘。

8.如权利要求6所述的具有载盘冷却功能的镀膜系统，其特征在于：该冷却装置安装于该支架，并具有至少一风扇。

9.如权利要求1至8中任一权利要求所述的具有载盘冷却功能的镀膜系统，其特征在于：该冷却装置设置于该镀膜站下方。

10.如权利要求9所述的具有载盘冷却功能的镀膜系统，其特征在于：该回流装置还包括分别邻设于该传送单元的一前端与一后端的一前升降单元与一后升降单元，该前升降单元邻设于该镀膜站的入口端，并将自该传送单元移出的该载盘导入该镀膜站的入口端，该后升降单元邻设于该镀膜站的出口端，并将自该镀膜站的出口端移出的该载盘导入该传送单元。