[发明专利]载体板及工件的两面研磨装置有效
| 申请号： | 201480059761.2 | 申请日： | 2014-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN105916631B | 公开（公告）日： | 2017-11-17 |
| 发明（设计）人： | 三浦友纪 | 申请（专利权）人： | 胜高股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/28 | 分类号： | B24B37/28;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 张雨,李婷 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的工件的两面研磨装置用的载体板具有保持工件的1个保持孔，其特征在于，在前述载体板的至少上表面上，设有多条主槽，前述主槽在被前述保持孔区划的前述载体板的边缘部之间延伸。此外，本发明的工件的两面研磨装置的特征在于，具备旋转平板，该旋转平板具有上平板及下平板；恒星齿轮，该恒星齿轮设在前述旋转平板的中心部；内齿轮，该内齿轮设在前述旋转平板的外周部；和上述载体板，该载体板设在前述上平板与前述下平板之间。 | ||
| 搜索关键词： | 载体 工件 两面 研磨 装置 | ||
【主权项】：
一种工件的两面研磨装置用的载体板，该工件的两面研磨装置用的载体板具有保持工件的1个保持孔，其特征在于，在前述载体板的至少上表面上，设有多条主槽，前述多条主槽在被前述保持孔区划的前述载体板的边缘部之间延伸，设有副槽，前述副槽将前述主槽之间、前述主槽与前述载体板的外周之间、以及前述主槽与前述边缘部之间中的至少1处连接，前述副槽设置为，在前述载体板的径向上，在从前述边缘部到前述载体板的外周之间具有中断的部分。
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