[发明专利]载体板及工件的两面研磨装置

权利要求书

1.一种工件的两面研磨装置用的载体板，该工件的两面研磨装置用的载体板具有保持工件的1个保持孔，其特征在于，

在前述载体板的至少上表面上，设有多条主槽，前述多条主槽在被前述保持孔区划的前述载体板的边缘部之间延伸，

设有副槽，前述副槽将前述主槽之间、前述主槽与前述载体板的外周之间、以及前述主槽与前述边缘部之间中的至少1处连接，

前述副槽设置为，在前述载体板的径向上，在从前述边缘部到前述载体板的外周之间具有中断的部分。

2.如权利要求1所述的工件的两面研磨装置用的载体板，其特征在于，

将前述多条主槽设为同心圆状。

3.一种工件的两面研磨装置，其特征在于，具备：

旋转平板，该旋转平板具有上平板及下平板；

恒星齿轮，该恒星齿轮设在前述旋转平板的中心部；

内齿轮，该内齿轮设在前述旋转平板的外周部；和

权利要求1所述的工件的两面研磨装置用的载体板，该载体板设在前述上平板与前述下平板之间。